حفظ ایمنی هنگام استفاده از نور مادون قرمز در کنار مواد شیمیایی فرار
هنگامی که از دستگاههای تمیزکننده برای تمیز کردن ویفرها استفاده میکنید، معمولاً با حلالهایی سروکار دارید که اصلاً دوست ندارند در معرض گرما قرار بگیرند؛ این حلالها قابل اشتعال هستند و گاهی حتی منفجرمیشوند. استفاده از لامپهای مادون قرمز در چنین محیطی، در واقع ریسک بزرگی است.
راهحل این نیست که سعی کنیم لامپ را «امنتر» کنیم؛ بلکه مهم این است که چگونه آن را محافظت کنیم.
جلوگیری از ایجاد جرقه
اکثر لامپهای مادون قرمز، پینهای الکتریکی و قرهسنگ خود را در معرض هوا قرار میدهند؛ در چنین محیطی، این امر میتواند منجر به بروز مشکلات جدی شود. حتی یک جرقه کوچک یا مقدار کمی بخار که وارد بدنه لامپ شود، میتواند مشکلاتی ایجاد کند.
برای جلوگیری از این مشکلات، ما کل بدنه لامپ را در یک پوسته ضدانفجاری قرار میدهیم؛ همچنین، فضای داخل بدنه را با گازهای غیرفعال شیمیایی پر میکنیم تا لامپ و اتصالات آن هرگز با هوای خطرناک در تماس نباشند.
همچنین، از مواد ارزانقیمت استفاده نمیکنیم؛ فولاد یا آلومینیوم معمولی تحت تأثیر بخارات خورنده، از بین خواهد رفت. در عوض، از فلووروپلیمرهای با کیفیت بالا یا آلیاژهای ویژه استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود مواد شیمیایی ورود نکنند و الکتریسیته نیز در جای مناسب خود باقی بماند.
مشکلات مربوط به گرما
مشکل اینجاست که وقتی لامپ را در یک پوسته محافظتی قرار میدهیم، ممکن است گرما مسدود شود؛ این امر میتواند باعث شود ویفر انرژی لازم را دریافت نکند، یا حتی لامپ از درون سوخته شود.
برای حل این مشکل، از پنجرههایی از جنس مواد با نفوذپذیری بالا استفاده میکنیم؛ گرما به ویفر منتقل میشود، اما لامپ همچنان در امان باقی میماند.
همچنین، باید دمای داخل بدنه را نیز تحت کنترل داشته باشیم؛ اگر محکم بسته شود، گرما در انتهای لامپ تجمع کرده و فیلامنتها خراب میشوند. برای جلوگیری از این مشکل، از رادیاتورهایی برای خارج کردن گرمای اضافی استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود لامپ برای مدت طولانیتری کار کند.
تأثیرات این روش بر سیستم شما
فقط یک نکته: این واحدهای محافظتشده، بزرگتر از لامپهای ساده هستند؛ احتمالاً باید کابلهای متصل به لامپ را تنظیم کنید تا جای کافی برای بدنه لامپ فراهم شود.
همچنین، از آنجایی که بدنه لامپ وزن بیشتری دارد، گرما به سرعت منتقل نمیشود؛ بنابراین باید مقادیر مربوط به PID را تنظیم کنید. واکنش لامپ کمی طولانیتر خواهد بود، اما این بهای کوچکی است برای جلوگیری از انفجار آزمایشگاه شما.