http://ir-heating-master.com/fa/tags/%D8%AA%D9%85%DB%8C%D8%B2%DA%A9%D8%A7%D8%B1%DB%8C/ Recent content in تمیزکاری on Master Infrared Heating Systems Hugo fa Mon, 29 Jun 2026 07:42:00 +0800 http://ir-heating-master.com/fa/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ Mon, 29 Jun 2026 07:42:00 +0800 http://ir-heating-master.com/fa/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="چگونه ویفر را پس از تمیز کردن خشک کنیم"></p> <p>در خط تولید، ویفری که تازه از مرحله شستشو خارج شده است، هنوز کاملاً آماده نشده است. وجود اثرات آب، ذرات ریز و فشار حرارتی ناشی از فرآیند خشک‌کردن نامناسب، می‌تواند باعث کاهش کیفیت ویفر قبل از رسیدن به مراحل بعدی شود. چالش واقعی، تنها خشک کردن ویفر نیست؛ بلکه کنترل دقیق سطح وایفر و میزان انرژی مصرفی نیز اهمیت زیادی دارد.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟</strong> ما فرآیند خشک‌کردن را بر اساس انتقال سریع و کنترل‌شده انرژی انجام می‌دهیم. این سیستم، یکنواختی حرارتی در سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌کند؛ بنابراین هیچ نقطه گرم یا سردی وجود ندارد که بتواند باعث تغییرات در خواص فوتورزیست یا ایجاد فشار بر سطح ویفر شود. هیترها از امواج مادون قرمز کوتاه‌اموج و متوسط‌اموج استفاده می‌کنند؛ همچنین از قطعات کوارتز و الیاف کربنی برای افزایش سرعت خشک‌کردن و حفظ یکنواختی حرارتی استفاده می‌شود. این امر باعث می‌شود که در طول فرآیند خشک‌کردن، هیچ ذره‌ای تولید نشود؛ که این موضوع برای حفظ استانداردهای سالن‌های پاک‌سازی درجه ۱ تا ۱۰۰ ضروری است. در نتیجه، می‌توانید زاویه تماس سطح ویفر را به طور قابل پیش‌بینی کنید و سطح ویفر کاملاً بدون لکه باشد.</p>