http://ir-heating-master.com/fa/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on Master Infrared Heating Systems Hugo fa Fri, 26 Jun 2026 05:38:06 +0800 http://ir-heating-master.com/fa/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Fri, 26 Jun 2026 05:38:06 +0800 http://ir-heating-master.com/fa/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="فرستنده مادون قرمز برای گرم کردن در روش PECVD"></p> <p>در فرآیندهای تولید، اختلالات حرارتی در هنگام پختن فوتورزیست یا خشک کردن ویفر، نه تنها باعث کاهش سرعت تولید می‌شود، بلکه ابعاد مهم محصول را نیز تغییر داده و باعث کاهش بازدهی تولید می‌گردد. لازم است که گرمای لازم به سرعت اعمال شود، در سطح یکنواختی باقی بماند و در طول کل فرآیند، پاکیزه بماند.</p> <p>فرستنده‌های مادون قرمز مورد استفاده در سیستم <a href="https://o-yate.com">PECVD</a>، از انرژی موج‌کوتاه برای ایجاد پاسخ حرارتی سریع استفاده می‌کنند؛ در نتیجه، یکنواختی دمای سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود. غلاف‌های کوارتزی و فیلامنت‌های مهندسی‌شده، جلوی تولید ذرات را می‌گیرند؛ بنابراین محیط تولید در سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰ باقی می‌ماند. خروجی این سیستم در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی می‌ماند؛ درصد تغییر شدت گرما نیز کمتر از ۵٪ است؛ بنابراین بودجه حرارتی مورد نیاز برای فرآیند تولید، قابل پیش‌بینی است. این سیستم می‌تواند مستقیماً در ماشین‌آلات PECVD و سایر ماشین‌آلات حرارتی مورد استفاده قرار گیرد؛ همچنین، این سیستم دارای گزینه‌های ولتاژ استاندارد و ابعاد کوچکی است که مانع از مشکلات در چیدمان ماشین‌آلات می‌شود.</p>