Pourquoi nous abandonnons les fours à air forcé dans les salles propres
Beaucoup de lignes de production de semi-conducteurs continuent d’utiliser des fours à convection par air forcé. Vous savez comment ça marche : l’air est chauffé, puis cet air chauffe à son tour le substrat. C’est un processus lent et indirect, qui devient souvent le principal goulot d’étranglement dans toute la chaîne de production.
C’est pourquoi beaucoup d’entre nous optent pour le chauffage par rayonnement infrarouge. Ce système élimine complètement ceintermédiaire. Au lieu d’attendre que l’air se réchauffe, le rayonnement infrarouge transmet directement l’énergie au matériau.
Arrêtez de perdre du temps à attendre que le four se réchauffe
Pensez au temps perdu en attendant que le four à convection atteigne la température souhaitée. Il faut parfois des minutes, voire des heures, pour que la chambre atteigne la température appropriée. C’est frustrant.
Les lampes à rayonnement infrarouge, elles, fonctionnent instantanément. En quelques secondes, on passe de zéro à la température maximale. Dans une usine de grande capacité, remplacer un temps de préchauffage de 30 minutes par 10 secondes par lot permet d’économiser énormément de temps. Cela accélère considérablement le rythme de travail.
Maintenir les lieux propres et froids
Il y a aussi le problème lié aux salles propres. Les ventilateurs sont utiles pour faire circuler l’air, mais ils créent également des particules en suspension. Même avec des filtres HEPA, faire circuler autant d’air favorise la contamination.
Les chauffages à rayonnement infrarouge, eux, ne créent aucune turbulence ni de particules en suspension. De plus, l’énergie est concentrée précisément là où elle est nécessaire, sans avoir besoin de chauffer toute la carcasse du four. Le système de climatisation de votre usine vous en sera reconnaissant, car vous n’aurez pas à lutter contre une source de chaleur importante.
Les limites
Le rayonnement infrarouge n’est pas une solution miracle pour tous les procédés. Il ne fonctionne que si la lampe peut « voir » la pièce à chauffer. Si les pièces sont empilées les unes sur les autres ou ont des formes complexes, il y aura des zones froides.
Pour résoudre ce problème, il faut être créatif : utiliser plusieurs lampes ou des réflecteurs pour diriger la chaleur vers ces zones difficiles à chauffer. De plus, comme l’énergie est très concentrée, il faut surveiller attentivement la température. Utilisez un pyromètre pour surveiller la température de surface ; sinon, vous risquez de brûler votre matériau avant même de vous en rendre compte.