Sur la ligne de production, un SRD qui laisse une trace d’eau ou une particule sur la plaquette ne se contente pas d’avoir un aspect défectueux — il réduit le rendement. La lampe infrarouge est le moteur thermique de tout le cycle, et elle trace la limite entre un séchage conforme au budget thermique et un séchage qui induit des contraintes sur le film.
Ce qui compte, techniquement
Nous concevons les lampes infrarouges pour SRD en fonction de la fenêtre process, pas d’une fiche technique standard. Le NIR à onde courte permet une montée en température rapide, et l’enveloppe en quartz combinée à la géométrie du réflecteur maintiennent une uniformité au niveau de la plaquette à ±0,1°C sur toute la rotation. La puissance reste stable suffisamment longtemps pour préserver l’intégrité du photorésist après les étapes de soft bake et hard bake, et la lampe fonctionne en continu 24h/24 sans générer de particules — conforme aux classes de salle blanche 1 à 100. La répétabilité repose sur l’atteinte du même point de consigne, cycle après cycle, avec une dérive minimale sur plusieurs milliers d’heures.
Pourquoi cela fonctionne dans un SRD
Dans un SRD, la lampe doit évaporer le rinçage sans cuire le substrat ni la pile polymère. Le contrôle thermique strict réduit la phase de séchage, maintient une maîtrise précise des dimensions critiques et diminue le taux de rebut. Vous gagnez en capacité de production et en intervalles de maintenance prévisibles, tandis que la consommation énergétique diminue grâce à un couplage NIR efficace et à une réponse thermique rapide. Sur les lignes lithographiques, cela se traduit par moins de lots à retoucher et un historique thermique en ligne de visée constant pour chaque plaquette.
Voici les détails pratiques
L’installation doit être parfaitement réalisée : alignement optique sur l’axe de rotation et interface propre avec la chambre. Une installation incorrecte provoque des points chauds et un séchage inégal. La lampe fonctionne dans les paramètres de tension et de refroidissement spécifiés, et la géométrie de la chambre doit correspondre au profil du réflecteur. Prévoyez un court rodage, puis des vérifications périodiques de la puissance pour maintenir cette uniformité de ±0,1°C sur l’ensemble du cycle d’utilisation du SRD.