Fabrication de biosenseurs à lampe infrarouge

Thu, 18 Jun 2026 04:48:04 +0800

Dans les lignes de production de puces, le fonctionnement des biosenseurs ne laisse pas de marge pour les écarts thermiques. Une déviation de même que demi-degré pendant le processus de cuisson du photorésiste peut entraîner des variations dans la largeur des lignes, affecter la sensibilité du biosenseur et même faire échouer l’opération. Nous avons conçu nos lampes infrarouges de manière à maintenir cette stabilité thermique, heure après heure.

Ce qui est important, c’est que nous utilisons des émetteurs infrarouges à courte longueur d’onde, protégés par des enveloppes en quartz. Ainsi, la chaleur se transmet rapidement et sans perturbations. Sur toute la surface de cuisson, la uniformité atteint ±0,1°C, ce qui est confirmé par des mesures in situ. La répétabilité d’un cycle à l’autre est également de ±0,2°C, ce qui garantit que les paramètres de cuisson restent stables. Les lampes fonctionnent dans des salles propres de classe 1–100 ; le nombre de particules générées pendant le fonctionnement est nul. La performance du système reste stable à 1 % sur plus de 5 000 heures, et le temps de réponse thermique est inférieur à 2 secondes – un temps suffisamment court pour assurer un contrôle précis du processus.

Biographie on Master Infrared Heating Systems

Fabrication de biosenseurs à lampe infrarouge