फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सूखाने या वेफरों को साफ करने की प्रक्रिया के दौरान होने वाला तापीय विचलन, केवल उत्पादन दर को ही प्रभावित नहीं करता; बल्कि यह महत्वपूर्ण आयामों को भी बदल देता है, जिससे उत्पादन की गुणवत्ता प्रभावित होती है। ऐसी स्थिति में ऐसी ऊष्मा आवश्यक है जो तेजी से प्रभाव डाले, स्थिर रहे, एवं हर बार एक ही स्तर पर रहे।
हमारे PECVD हीटिंग इन्फ्रारेड एमिटर, शॉर्ट-वेव ऊर्जा का उपयोग करके त्वरित तापीय प्रतिक्रिया देते हैं; प्रक्रिया के दौरान वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है। क्वार्ट्ज आवरण एवं विशेष रूप से डिज़ाइन किए गए फिलामेंट, कणों के निर्माण को शून्य पर रखते हैं; इससे उत्पादन प्रक्रिया “क्लीनरूम क्लास 1–100” के मानकों के अनुरूप ही चलती है। 5,000+ घंटों तक उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है, एवं तापमान में 5% से भी कम विचलन होता है; इससे तापीय मापदंडों में निरंतरता बनी रहती है। यह सिस्टम, मौजूदा PECVD एवं तापीय प्रक्रिया मॉड्यूलों में आसानी से एकीकृत हो जाता है; इसमें मानक वोल्टेज विकल्प उपलब्ध हैं, एवं इसका आकार इतना छोटा है कि यह उपकरणों की व्यवस्था में कोई बाधा नहीं डालता।
वेफरों को सूखाने एवं साफ करने की प्रक्रिया में, ये एमिटर बिना किसी तापीय विलंब के ही वेफरों से अतिरिक्त नमी को हटा देते हैं; इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है। लिथोग्राफी प्रक्रिया में, ये एमिटर तापमान को सख्ती से नियंत्रित करके फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता को बनाए रखते हैं। पैकेजिंग प्रक्रिया में, ये एमिटर एंकैप्सुलेंटों एवं अंडरफिलों को तेजी से एवं समान रूप से सूखा देते हैं; इससे ओवन में वेफरों को रखने का समय कम हो जाता है, एवं वेफरों पर चिपकाव में कोई कमी नहीं आती।
ऊर्जा-कुशल इलेक्ट्रॉनिक्स के कारण, रेजिस्टिव हीटरों की तुलना में ऊर्जा की खपत कम हो जाती है; एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है, क्योंकि कोई गर्म फिलामेंट प्रक्रिया गैसों के संपर्क में नहीं आता।
स्थापना के समय ध्यान देने योग्य बातें: उच्चतम प्रदर्शन हेतु, रिफ्लेक्टर की ज्यामिति एवं उपकरण के तापीय नियंत्रण तंत्र को उचित रूप से समायोजित करना आवश्यक है; हम सामान्य चेंबर संरचनाओं हेतु कैलिब्रेशन मैप भी उपलब्ध कराते हैं। जब आप मीडियम-वेव से शॉर्ट-वेव प्रोफाइल में बदलते हैं, तो सेटपॉइंट तक पहुँचने में थोड़ा अधिक समय लगेगा; इसलिए अपने सेंसरों की स्थिति को हमारे द्वारा दिए गए तापीय प्रोफाइल के अनुरूप ही रखें। क्लीनरूम-अनुकूल माउंटिंग हार्डवेयर का उपयोग करें, एवं गैस-लाइनों की सुसंगतता की जाँच करें, ताकि विंडो इंटरफेस पर कोई घनीभूत तरल पदार्थ न बने।