Berhentilah memanaskan dinding mesin tersebut (dan mulailah mengeringkan wafer secara efektif) Jika Anda pernah bekerja dengan peralatan pengeringan...

Di area produksi, perilaku photoresist sangat dipengaruhi oleh profil termalnya—terutama selama proses pengeringan dan pemanasan. Jika ada perbedaan...