Sensor on Master Infrared Heating Systems

Sensor IR berpresisi untuk wafer

Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800

Mengapa Pemanasan IR Lebih Unggul daripada Pemanasan Udara Bertekanan, Ketika Setiap Detik Sangat Penting
Jika Anda masih menggunakan metode pemanasan udara bertekanan untuk memanaskan wafer, berarti Anda sebenarnya sedang menunggu proses pemanasan tersebut selesai. Bayangkan bagaimana cara kerja pemanasan udara bertekanan: udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu baru digunakan untuk memanaskan wafer. Prosesnya lambat, dan ada jeda waktu yang menghambat proses pemanasan. Sebaliknya, pemanasan IR tidak memerlukan tahap perantara seperti itu. Energi dikirim langsung ke substrat silikon melalui radiasi elektromagnetik. Tidak perlu menunggu, tidak ada hambatan sama sekali.

Sensor suhu untuk alat pemrosesan wafer

Wed, 22 Jul 2026 04:58:13 +0800

Mengamankan Keamanan Saat Menggunakan Sinar Infra Merah di Dekat Bahan Kimia yang Mudah Terbakar
Saat menggunakan alat pembersih berbahan kimia untuk membersihkan wafer, Anda biasanya berhadapan dengan zat-zat pelarut yang sangat sensitif terhadap panas. Zat-zat ini mudah terbakar, bahkan bisa meledak. Menggunakan lampu inframerah berkekuatan tinggi di tengah-tengah zat-zat tersebut sama saja dengan mencari masalah.

Kuncinya bukanlah membuat lampu tersebut “lebih aman”, melainkan bagaimana cara melindunginya.

Mencegah munculnya percikan api
Sebagian besar lampu inframerah membiarkan terminal listrik dan bagian quartznya terpapar udara. Di area pembersihan, hal ini merupakan ancaman besar. Satu percikan kecil atau uap kimia yang masuk ke dalam lampu sudah cukup untuk menimbulkan masalah.

Pemanas untuk pembuatan sensor hidrogen

Mon, 20 Jul 2026 11:42:26 +0800

Mengendalikan Suhu dengan Tepat untuk Sensor Hidrogen
Membuat sensor hidrogen membutuhkan keseimbangan yang tepat. Anda bekerja dengan komponen-komponen kecil yang sensitif terhadap suhu; jika kesalahan terjadi, seluruh produk yang dihasilkan akan menjadi tidak berguna. Itulah sebabnya kami menggunakan sistem inframerah berfrekuensi rendah. Ketika perlu memanaskan atau mendinginkan lapisan tipis atau substrat secara cepat, inframerah merupakan pilihan yang tepat. Dalam sistem Smart Fab, pemanas-pemanas inilah yang bertugas melakukan pekerjaan berat tersebut. Yang terbaik dari sistem ini adalah panasnya langsung sampai ke permukaan benda kerja. Dengan demikian, energi tidak terbuang sia-sia hanya untuk memanaskan seluruh ruang produksi agar satu wafer mencapai suhu yang diinginkan.

Kemasan sensor cerdas berbasis inframerah

Thu, 16 Jul 2026 02:52:44 +0800

Berhentilah menebak-nebak menggunakan panas: Gunakan data untuk mengendalikan proses produksi

Jika Anda sedang merencanakan pembangunan pabrik baru, kemungkinan besar Anda sudah menghabiskan banyak waktu untuk memikirkan masalah terkait panas. Namun, faktanya adalah panas saja tidaklah cukup. Anda perlu tahu apa sebenarnya yang dilakukan oleh panas tersebut.

Sebagian besar elemen pemanas tradisional sebenarnya tidak memiliki kemampuan untuk mengukur suhu secara akurat. Mereka hanya memompa energi ke dalam proses produksi, tanpa adanya cara untuk mengetahui apakah suhu yang dihasilkan benar-benar sesuai dengan yang diinginkan. Kita bisa mengatasi hal ini dengan menggunakan sistem inframerah yang dilengkapi sensor canggih. Dengan begitu, zona pemanasan sederhana tersebut berubah menjadi sumber data yang dapat digunakan untuk mengontrol proses produksi.

Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Mon, 13 Jul 2026 18:39:42 +0800

Mencuci dan Mengeringkan MEMS Menggunakan Sinar Infra Merah
Jika Anda pernah bekerja dengan sensor MEMS, pasti Anda tahu betapa merepotkannya proses pengeringan wafer tersebut. Sebuah bintik kecil akibat air atau kontaminasi ionik saja sudah cukup untuk membuat seluruh batch wafer menjadi tidak dapat digunakan lagi. Selama bertahun-tahun, kita menggunakan oven konveksi untuk mengeringkan wafer. Namun, sejujurnya, memanaskan seluruh ruangan hanya untuk mengeringkan satu wafer merupakan pemborosan energi yang sangat besar.

Itulah sebabnya kami beralih ke penggunaan lampu infraraja berfrekuensi tinggi. Alih-alih memanaskan udara, cahaya infraraja langsung menyinari permukaan wafer. Cara ini lebih efisien, dan tentu saja lebih ramah terhadap lingkungan.

Pembuatan biosensor menggunakan lampu inframerah

Thu, 18 Jun 2026 04:48:04 +0800

Di jalur produksi wafer, penggunaan biosensor tidak memungkinkan adanya penyimpangan akibat perubahan suhu. Penyimpangan sebesar setengah derajat selama proses pemanggangan photoresist dapat mengubah lebar garis pada permukaan wafer, merusak sensitivitas biosensor, dan menghentikan proses produksi. Kami merancang lampu inframerah khusus agar suhu tetap stabil, dari jam ke jam.

Yang penting dalam hal ini adalah efisiensi transfer panas. Kami menggunakan pemancar inframerah berfrekuensi rendah yang dilindungi oleh lapisan kuarsa, sehingga panas dapat ditransfer dengan cepat dan permukaan wafer tetap bersih. Di seluruh permukaan wafer, tingkat keseragaman suhu mencapai ±0,1°C, sesuai dengan hasil pemetaan di lokasi. Tingkat repetibilitas antar siklus produksi berkisar antara ±0,2°C, sehingga profil suhu selama proses pemanggangan tetap stabil. Lampu-lampu tersebut berada di ruang bersih kelas 1–100, sehingga jumlah partikel di udara tetap nol. Kinerja sistem tetap stabil hingga 5.000 jam, dan waktu respons terhadap perubahan suhu kurang dari 2 detik—cukup cepat untuk memastikan kontrol suhu yang akurat.