Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS
Pulizia dei sensori MEMS tramite radiazioni infrarosse
Se avete mai lavorato con sensori MEMS, sapete bene quanto sia complicato asciugare le wafer....
Essiccatore a infrarossi per wafer
Sulla linea di litografia, il wafer esce dal risciacquo finale e parte il cronometro. L’asciugatura convenzionale lascia dietro di sé aloni...