Fabbricazione di biosensori _con lampada a infrarossi

Thu, 18 Jun 2026 04:48:04 +0800

Nella linea di produzione dei wafer, il funzionamento dei biosensori non ammette alcuna deviazione termica. Una variazione di mezzo grado durante il processo di essiccazione del fotoresist può alterare la larghezza delle linee sulla superficie del wafer, influenzando negativamente la sensibilità dei sensori e compromettendo l’intero processo di produzione. Abbiamo progettato le nostre lampade a infrarossi in modo che possano mantenere stabile il livello termico, ora dopo ora.

Quello che è importante è semplice: utilizziamo emettitori a onde corte a infrarossi, protetti da involucri di quarzo. In questo modo il calore viene trasmesso rapidamente e senza problemi. La uniformità termica sulla superficie del wafer è di ±0,1°C, come confermato dai rilevamenti effettuati sul posto. La ripetibilità tra un ciclo e l’altro è comunque entro ±0,2°C, quindi i parametri di essiccazione rimangono stabili. Le lampade vengono utilizzate in ambienti puliti di classe 1–100; inoltre, il numero di particelle presenti nell’aria è pari a zero durante il funzionamento delle lampade. L’efficienza energetica rimane entro il 1% dopo oltre 5.000 ore di funzionamento, mentre il tempo di risposta termica è inferiore a 2 secondi: un valore sufficientemente elevato per garantire un controllo preciso dei processi di essiccazione.

Biografia on Master Infrared Heating Systems

Fabbricazione di biosensori _con lampada a infrarossi