Lampada a due tubi _con rivestimento in oro

Thu, 16 Jul 2026 02:44:59 +0800

Come gestire al meglio i carichi termici con lampade a doppio tubo rivestite d’oro
Nelle fabbriche di semiconduttori, se il profilo termico non è preciso, si rischiano dei danni irreparabili alle wafer. È una situazione molto delicata. Abbiamo scoperto che l’uso di lampade a infrarossi a doppio tubo e rivestite d’oro è il modo migliore per raggiungere tali obiettivi senza sprecare troppa energia.

Perché l’uso dell’oro e del design a doppio tubo?
I tubi di quarzo tradizionali sono soggetti a perdite di energia; questa energia viene dispersa in tutto il sistema, il che rappresenta uno spreco. Rivestendo l’interno dei tubi di quarzo con oro, trasformiamo praticamente la lampada in uno specchio. In questo modo, il calore viene diretto verso la wafer, invece di disperdersi ovunque. Si ottiene così un fascio di calore concentrato proprio dove è necessario, evitando che la sala pulita diventi una sorta di “sauna”.

Tubo riscaldante a quarzo a onde medie

Sat, 20 Jun 2026 06:19:20 +0800

Nel reparto di produzione, si sa come funzionano le cose: una variazione di temperatura di 0,5°C può alterare il profilo del fotoresisto; inoltre, anche una singola particella può rovinare l’integrità del componente prodotto. I tubi riscaldanti a onde medie in quarzo sono perfetti per questo scopo. Il controllo termico non è semplicemente una impostazione tecnica, ma fa parte integrante del processo di produzione.

Cosa conta davvero
I tubi riscaldanti a onde medie in quarzo emettono calore nella fascia di 2,5–4 μm; questo permette un riscaldamento preciso del fotoresisto e delle sottili pellicole d’acqua presenti sul substrato, senza causare danni al substrato stesso. In questo modo si ottiene un riscaldamento rapido e controllato, con bassa inerzia termica. Su tutta la lunghezza del tubo, si riesce a mantenere una uniformità di temperatura di ±0,1°C sulla superficie del wafer; inoltre, la ripetibilità dei risultati rimane costante da uno batch all’altro. La struttura dei tubi, compatibile con ambienti a norme elevate, riduce al minimo la formazione di particelle, il che è fondamentale per ambienti di classe 1–100. La potenza di emissione del calore rimane stabile anche dopo oltre 5.000 ore di funzionamento, con una minima diminuzione della luminosità.

Tubo on Master Infrared Heating Systems

Lampada a due tubi _con rivestimento in oro

Tubo riscaldante a quarzo a onde medie