センサー on Master Infrared Heating Systems

ウェーハ用高精度IRセンサー

Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800

なぜ、秒単位で時間が重要になる場面においては、赤外線加熱の方が強制送風より優れているのか？もし依然としてウェーハを加熱するために強制送風を利用しているのであれば、それはまるで待っているだけの状態です。強制送風の仕組みを考えてみてください。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つ必要があります。これは非常に遅いです。厄介な遅延があります。一方、赤外線加熱はその中間段階を省略します。電磁波を使ってエネルギーを直接シリコン基板に送り込むのです。待つ必要もなく、無駄な動作もありません。 本当に問題なのは時間コストです。 精密な処理を行う際、時間こそが利益を失う原因です。強制送風を使う場合、チャンバー全体が十分に温まるのを待たなければならず、さらに悪いことに、再び冷却するのにも時間がかかります。これは非常に非効率的です。しかし、赤外線ランプは違います。わずか数秒で目標温度に到達します。急速熱処理（RTP）では、その数秒が何よりも重要です。そして、スイッチを切った瞬間には、熱もほぼ即座に止まります。冷却されない巨大な熱気と戦う必要はありません。 また、「低温部分」の問題もあります。 私たちは皆、この問題を経験したことがあります。300mmのウェーハを使用していると、端の部分が適切に加熱されないことがあります。空気対流はこのような不均一性を引き起こしやすいです。これを解決するために、赤外線センサーを使って表面温度をリアルタイムで監視します。そうすることで、熱を適切に分配できます。もし端の部分が少し冷たければ、外側のランプの出力を調整します。これはより直感的な方法です。さらに、ウェーハが変形するのを防ぎ、ドーパントの分布を正確に保つことができます。 もちろん、すべてが完璧というわけではありません。 trade-offsもあります。 赤外線加熱は非常に強力ですが、そのため電源装置に負担がかかります。また、PIDの調整にも細心の注意が必要です。もしセンサーの精度が少しでもずれてしまうと、温度が過剰に上昇し、結果として全体的な品質が悪化してしまいます。校正に自信がないと、ストレスになります。また、ランプの状態も注意が必要です。フィラメントが摩耗すると、熱の分布が乱れます。単純に設定して放置するだけではいけません。収率を安定させるためには、定期的な交換が必要です。

ウェーハ処理装置用温度センサー

Wed, 22 Jul 2026 04:58:13 +0800

揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーターを使用する際の安全対策
ウェーハ処理において化学洗浄を行うとき、通常は熱に弱い溶剤が使われます。これらの溶剤は可燃性があり、場合によっては爆発性もあります。高温の赤外線ランプをその中に入れるのは、まさにトラブルを招く行為です。

水素センサー製造用ヒーター

Mon, 20 Jul 2026 11:42:26 +0800

水素センサーの熱制御を適切に行うために
水素センサーを製造するには、バランスを取る必要があります。微小な領域での加熱・冷却が求められるため、少しでも間違えると、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。
そのため、私たちは短波長の赤外線（IR）システムを利用しています。薄膜を迅速に加熱したり、基板上の物質を速やかに硬化させたい場合、IRが最適です。スマートファブ環境では、こうしたヒーターが重要な役割を果たします。最良の点は、熱が直接ワークピースに伝わることです。1枚のウェーハを適切な温度にするために、チャンバー全体を温める必要がないのです。

スマートセンサーパッケージング赤外線

Thu, 16 Jul 2026 02:52:44 +0800

熱に頼るのはやめよう：データを製造現場に活用する
新しい製造プラントを計画しているなら、おそらく熱に関して多くの時間を費やしてきたことでしょう。しかし、単に熱があるだけでは不十分です。その熱が実際に何をしているのかを知る必要があります。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800

IRを利用したMEMSの乾燥処理

MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、ウェーハの乾燥処理がいかに面倒かを知っているでしょう。わずかな水分やイオン汚染があっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。長年にわたり、対流式オーブンを使ってきましたが、正直なところ、ウェーハを乾燥させるためだけにチャンバー全体を加熱するのは、莫大なエネルギーの無駄遣いです。

バイオセンサー製造用赤外線ランプ

Thu, 18 Jun 2026 04:48:04 +0800

ウェーハ製造ラインにおいて、バイオセンサーの製造には、熱変動を許容する余地がありません。フォトレジストを加熱する際に0.5度程度の温度変動があっても、線幅が変わったり、感度が低下したりして、製造が中断されてしまいます。そのため、私たちは赤外線ランプを設計する際に、数時間にわたって安定した温度を維持できるようにしました。