乾燥 on Master Infrared Heating Systems

製造工程における乾燥工程のエネルギー診断

Tue, 21 Jul 2026 09:55:20 +0800

壁を加熱するのをやめて、ウエハーを乾燥させましょう

半導体乾燥装置の周りで作業したことがある人なら、その状況がどんなものかわかるでしょう。チャンバーを開けると、すぐに熱気が顔に当たります。ウエハーだけでなく、装置の壁自体も高温になっています。

これは無駄なことです。一般的なヒーターはエネルギーをあらゆる方向に放出するため、高価な装置の筐体が巨大な放熱装置のようになってしまいます。HVACシステムはその熱に対処するために過重な負担を強いられ、メンテナンスを行う技術者も火傷の危険に常にさらされています。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800

IRを利用したMEMSの乾燥処理

MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、ウェーハの乾燥処理がいかに面倒かを知っているでしょう。わずかな水分やイオン汚染があっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。長年にわたり、対流式オーブンを使ってきましたが、正直なところ、ウェーハを乾燥させるためだけにチャンバー全体を加熱するのは、莫大なエネルギーの無駄遣いです。

安価なウェーハ乾燥用ランプの電球

Tue, 23 Jun 2026 01:01:03 +0800

ファブの現場において、フォトレジストの挙動は、特にソフトベイクやハードベイクの際の熱的条件に大きく左右されます。ウェーハ全体での加熱が均一でなければ、端部にビードができたり、線幅が変わったりし、結果として歩留まりが低下します。ランプは単なる付属品ではなく、実際に熱制御が行われる重要な要素です。

ここで重要なのは、ウェーハの乾燥やフォトレジストのベイクの過程における熱的状況です。石英製のケースを持つハロゲンランプは、迅速かつ正確な反応を実現し、短波または中波の出力によって、過剰なエネルギーを与えずに溶剤を除去することができます。ウェーハ全体の温度差は±0.1℃程度に抑え、その状態をロットごとに再現可能にすることが求められます。クラス1～100のクリーンルーム内では、このランプは正常に動作し、動作時に粒子が発生しません。また、100～240Vの入力電圧に対応し、コンパクトな形状であり、固体接続端子を備えているため、すぐに使用できます。

ウェハ乾燥用赤外線ヒーター

Thu, 04 Jun 2026 03:55:57 +0800

アウトリソグラフィフロアでは、ウェハーが最終すすぎから出て時計が動き始める。従来の乾燥方法では、水跡、薄膜、そして目に見えない微粒子が残り、それがフォトレジストの欠陥として現れる。300mmファブでClass 1のクリーンネスを維持している場合、これはリスクではない。歩留まりがそのまま損失になる。