http://ir-heating-master.com/ja/tags/%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%9F/ Recent content in 制御された on Master Infrared Heating Systems Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 02:50:13 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/pid-controlled-semiconductor-heater/ Mon, 01 Jun 2026 02:50:13 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/pid-controlled-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="PID制御半導体ヒーター"></p> <p>ライン上では、温度は背景の調整ダイヤルではなく、プロセスを駆動する要素です。フォトレジストのソフトベーク中に数度のズレがあると、クリティカルディメンション（CD）の目標値がずれます。ウェーハ乾燥時に冷却スポットがあると、スピン、ベーク、エッチングを経ても残るウォーターマークが発生します。熱挙動が外れると、警告はなく、不良品、手直し、そしてファブ全体に波及する予期せぬ停止が起きます。<br> 当社のPID制御半導体ヒーターは、まさにそうした状況に対応するために設計されています。プロセスが迅速かつクリーンに繰り返し熱を必要とし、シフトやロット、設備間で安定した制御が求められる場面で機能します。</p>