http://ir-heating-master.com/ja/tags/%E6%A9%9F%E6%A2%B0/ Recent content in 機械 on Master Infrared Heating Systems Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 20:43:12 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/semiconductor-machinery-spare-parts-heater/ Mon, 01 Jun 2026 20:43:12 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/semiconductor-machinery-spare-parts-heater/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="半導体機械用予備部品ヒーター"></p> <p>ファブフロアでは、フォトレジストのベイクプロファイルがわずか0.5度でもずれると、多数のウェハが影響を受ける。ソフトベイクとハードベイクは単なる「加熱工程」ではなく、ライン幅制御と歩留まりを決定する。ヒーターの性能が不足していると、クリティカルディメンションの不均一、エッジビードの発生、スクラップの増加が見られる。</p>