http://ir-heating-master.com/ja/tags/%E9%9B%BB%E7%90%83/ Recent content in 電球 on Master Infrared Heating Systems Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 01:01:03 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/cheap-wafer-drying-lamp-bulb/ Tue, 23 Jun 2026 01:01:03 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/cheap-wafer-drying-lamp-bulb/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="安価なウェーハ乾燥用ランプの電球"></p> <p>ファブの現場において、フォトレジストの挙動は、特にソフトベイクやハードベイクの際の熱的条件に大きく左右されます。ウェーハ<a href="https://henruite.com">全体</a>での加熱が均一でなければ、端部にビードができたり、線幅が変わったりし、結果として歩留まりが低下します。ランプは単なる付属品ではなく、実際に熱制御が行われる重要な要素です。</p> <p>ここで重要なのは、ウェーハの乾燥やフォトレジストのベイクの過程における熱的状況です。石英製のケースを持つハロゲンランプは、迅速かつ正確な反応を実現し、短波または中波の出力によって、過剰なエネルギーを与えずに溶剤を除去することができます。ウェーハ全体の温度差は±0.1℃程度に抑え、その状態をロットごとに再現可能にすることが求められます。クラス1～100のクリーンルーム内では、このランプは正常に動作し、動作時に粒子が発生しません。また、100～240Vの入力電圧に対応し、コンパクトな形状であり、固体接続端子を備えているため、すぐに使用できます。</p>