IR on Master Infrared Heating Systems

ウェーハ用高精度IRセンサー

Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800

なぜ、秒単位で時間が重要になる場面においては、赤外線加熱の方が強制送風より優れているのか？もし依然としてウェーハを加熱するために強制送風を利用しているのであれば、それはまるで待っているだけの状態です。強制送風の仕組みを考えてみてください。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つ必要があります。これは非常に遅いです。厄介な遅延があります。一方、赤外線加熱はその中間段階を省略します。電磁波を使ってエネルギーを直接シリコン基板に送り込むのです。待つ必要もなく、無駄な動作もありません。 本当に問題なのは時間コストです。 精密な処理を行う際、時間こそが利益を失う原因です。強制送風を使う場合、チャンバー全体が十分に温まるのを待たなければならず、さらに悪いことに、再び冷却するのにも時間がかかります。これは非常に非効率的です。しかし、赤外線ランプは違います。わずか数秒で目標温度に到達します。急速熱処理（RTP）では、その数秒が何よりも重要です。そして、スイッチを切った瞬間には、熱もほぼ即座に止まります。冷却されない巨大な熱気と戦う必要はありません。 また、「低温部分」の問題もあります。 私たちは皆、この問題を経験したことがあります。300mmのウェーハを使用していると、端の部分が適切に加熱されないことがあります。空気対流はこのような不均一性を引き起こしやすいです。これを解決するために、赤外線センサーを使って表面温度をリアルタイムで監視します。そうすることで、熱を適切に分配できます。もし端の部分が少し冷たければ、外側のランプの出力を調整します。これはより直感的な方法です。さらに、ウェーハが変形するのを防ぎ、ドーパントの分布を正確に保つことができます。 もちろん、すべてが完璧というわけではありません。 trade-offsもあります。 赤外線加熱は非常に強力ですが、そのため電源装置に負担がかかります。また、PIDの調整にも細心の注意が必要です。もしセンサーの精度が少しでもずれてしまうと、温度が過剰に上昇し、結果として全体的な品質が悪化してしまいます。校正に自信がないと、ストレスになります。また、ランプの状態も注意が必要です。フィラメントが摩耗すると、熱の分布が乱れます。単純に設定して放置するだけではいけません。収率を安定させるためには、定期的な交換が必要です。

赤外線エミッタ用セラミックエンドキャップ

Thu, 23 Jul 2026 11:59:59 +0800

粒子の飛散を防ぐ：クラス100の加熱システムを正しく設定する方法

もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、たった一つの粒子があるだけで大変なことになるという現実はご存知でしょう。わずかな破片があっただけで、生産された製品は全て廃棄処分になってしまいます。

問題は通常、加熱素子にあります。一般的なIRランプでは、シール部分に安価な金属や接着剤が使われています。加熱や冷却が繰り返されると、これらの材料は徐々に劣化し、汚染物質を製品中に放出してしまいます。これはまさに災害の予兆です。

IRランプ用アルミニウム反射板

Sun, 12 Jul 2026 10:27:43 +0800

ワットを無駄にしないで：IR熱を効率的に処理する方法

正直言って、半導体製造工場で電力を無駄にするのは、単なるお金の無駄です。ほとんどの人は従来のアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、この反射板ではIRランプの全ての波長の光をうまく捕捉できないということです。その結果、多くのエネルギーが機械の筐体内に漏れてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。

だからこそ、私たちは金コーティングされた反射板に切り替えました。つまり、失われたエネルギーを再びウェハーに戻すのです。

なぜ金なのか？
アルミニウムは一般的に使われていますが、IR光を扱う際には金の方が優れています。精密に金層を追加することで、反射板が熱を吸収するのを防ぎます。つまり、電源から供給されるエネルギーの全てが目的の場所に届くのです。ランプの電流を上げることなく、より高い熱密度を得ることができます。これが効率的な方法です。

ファブIRランプ用クォーツスリーブ

Wed, 24 Jun 2026 04:33:07 +0800

製造現場において、フォトレジストの焼成処理は推奨されるものではなく、必須の工程です。わずか0.5℃の温度変動だけで、ウェーハの寸法に影響が出ます。また、スリーブ内の微粒子一つでも、ウェーハを破壊してしまう可能性があります。当社の石英スリーブは、このような状況に対応するために設計されています。それにより、ランプの出力を安定させ、チャンバー内を清潔に保ち、プロセスを適切に管理できます。