http://ir-heating-master.com/ja/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on Master Infrared Heating Systems Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 05:38:06 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Fri, 26 Jun 2026 05:38:06 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="PECVD加熱用赤外線放射体"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に生じる熱的なドリフトは、単に生産性を低下させるだけでなく、ウェーハの寸法精度を乱し、歩留まりを悪化させます。そのため、迅速かつ安定した加熱が求められ、また、シフトごとにもその状態が維持される必要があります。</p>