http://ir-heating-master.com/ja/tags/srd/ Recent content in SRD on Master Infrared Heating Systems Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 05:27:44 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/srd-spin-rinse-dryer-infrared-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:27:44 +0800 http://ir-heating-master.com/ja/posts/srd-spin-rinse-dryer-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="SRD スピンリンスドライヤー 赤外線ランプ"></p> <h1 id="ファブフロア上で">ファブフロア上で</h1> <p>SRDがウェハーにウォーターマークやパーティクルを残すということは、見た目の問題に留まらず、歩留まりを悪化させる要因となる。赤外線ランプはサイクル全体の熱駆動要素であり、熱予算に合致した乾燥と、フィルムにストレスを与える乾燥の境界線を決める。</p>