http://ir-heating-master.com/ko/tags/%EC%84%BC%EC%84%9C/ Recent content in 센서 on Master Infrared Heating Systems Hugo ko Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="웨이퍼용 정밀 IR 센서"></p> <p>왜 매초가 중요한 상황에서는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한지<br> 만약 여전히 웨이퍼를 가열하기 위해 뜨거운 공기를 사용하고 있다면, 그건 사실상 기다리는 것에 불과합니다.<br> 강제 공기 순환 방식을 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를 가열할 때까지 기다려야 합니다. 이 방식은 매우 느립니다. 반면 적외선 가열은 중간 단계를 생략합니다. 전자기파를 이용해 에너지를 직접 실리콘 기판으로 전달하기 때문입니다. 기다릴 필요도 없고, 불필요한 절차도 없습니다.<br> <strong>진짜 문제는 시간입니다.</strong><br> 첨단 처리 과정에서는 시간이 곧 수익성을 결정합니다. 뜨거운 공기를 사용할 경우, 챔버가 완전히 따뜻해질 때까지, 혹은 다시 차가워질 때까지 기다려야 합니다. 정말 힘든 일입니다.<br> 적외선 램프는 다릅니다. 몇 초 안에 원하는 온도에 도달합니다. 급속 열처리(RTP)에서는 그 몇 초가 매우 중요합니다. 스위치를 끄면 열도 거의 즉시 멈춥니다. 더 이상 식지 않는 뜨거운 공기와 싸울 필요가 없습니다.<br> <strong>또 하나의 문제는 ‘차가운 부분’입니다.</strong><br> 300mm 웨이퍼를 사용할 때, 가장자리 부분의 온도가 제대로 오르지 않는 경우가 있습니다. 공기 대류 방식은 이런 불균일성을 유발합니다.<br> 이 문제는 적외선 센서를 사용하여 표면 온도를 실시간으로 모니터링함으로써 해결할 수 있습니다. 그렇게 하면 특정 부분에 더 많은 열을 가할 수 있습니다. 가장자리 부분의 온도가 낮으면, 외부 램프의 세기를 높이면 됩니다. 이 방식은 훨씬 더 효과적입니다. 게다가 웨이퍼가 비틀리는 것을 방지하고, 도핑 프로파일을 정확하게 유지할 수 있습니다.<br> <strong>물론, 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 타협점도 있습니다.</strong><br> 적외선 가열은 매우 강력하지만, 그만큼 전력 공급 장치에 큰 부담을 줍니다. 또한 PID 조절에도 매우 주의해야 합니다.<br> 센서의 오차가 조금이라도 있으면, 온도가 너무 높아져서 전체 작업이 망가질 수 있습니다. 교정을 제대로 하지 않으면 스트레스가 됩니다.<br> 또한 램프의 상태도 주의해야 합니다. 필라멘트가 마모되면 열이 제대로 전달되지 않습니다. 그러므로 “한 번 설정하고 잊어버리는” 방식은 통하지 않습니다. 안정적인 생산성을 위해서는 정기적인 교체가 필요합니다.</p> http://ir-heating-master.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Wed, 22 Jul 2026 04:58:13 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼 공정용 온도 센서"></p> <p>휘발성 화학물질 근처에서 적외선 열을 사용할 때 안전을 유지하는 방법<br> 웨이퍼를 화학적으로 세척할 때는, 보통 열을 싫어하는 용매들을 다루게 됩니다. 이러한 용매들은 인화성이 있으며, 경우에 따라서는 폭발성도 있습니다. 고온의 적외선 램프를 그런 용매들과 함께 사용하는 것은 곧 문제를 초래하는 행위입니다.</p> http://ir-heating-master.com/ko/posts/hydrogen-sensor-fabrication-heater/ Mon, 20 Jul 2026 11:42:26 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/hydrogen-sensor-fabrication-heater/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="수소 센서 제작용 히터"></p> <p>수소 센서의 온도 제어를 제대로 하는 방법<br> 수소 센서를 만드는 것은 균형을 맞추는 작업입니다. 아주 작은 크기의 열원을 사용해야 하며, 조금이라도 오차가 생기면 전체 제품이 폐기됩니다.<br> 그래서 우리는 단파 적외선(IR) 시스템을 사용합니다. 얇은 필름을 빠르게 가열하거나 기판을 빠르게 경화시켜야 할 때, IR이 최적의 해결책입니다. 스마트 팩토리 환경에서는 이러한 히터들이 중요한 역할을 합니다. 가장 좋은 점은 열이 직접 작업물에 전달된다는 것입니다. 웨이퍼 하나의 온도를 맞추기 위해 전체 챔버를 가열할 필요가 없습니다.</p> http://ir-heating-master.com/ko/posts/smart-sensor-packaging-infrared/ Thu, 16 Jul 2026 02:52:44 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/smart-sensor-packaging-infrared/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="스마트 센서 포장 적외선"></p> <p>열에 대한 추측을 그만두고, 데이터를 활용하세요: 데이터를 제조 공정에 도입하기<br> 새로운 제조 공장을 계획할 때, 아마도 열 문제에 대해 많은 시간을 들여 고민했을 것입니다. 하지만 문제는, 단순히 열만으로는 충분하지 않다는 점입니다. 그 열이 실제로 어떤 작용을 하는지 알아야 합니다.</p> http://ir-heating-master.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p><strong>IR을 이용한 MEMS 센서의 건조 처리</strong><br> 만약 MEMS 센서를 다룬 경험이 있다면, 웨이퍼를 건조하는 데 있어서 겪는 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 물방울이나 이온 오염만 있어도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서 웨이퍼를 건조시키기 위해 전체 챔버를 가열하는 것은 에너지 낭비입니다.</p> http://ir-heating-master.com/ko/posts/bio-sensor-fabrication-infrared-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:48:04 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/bio-sensor-fabrication-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="바이오 센서 제작용 적외선 램프"></p> <p>웨이퍼 처리 공정에서는 생체센서의 작동에 있어 열 변동이 허용되지 않습니다. 포토레지스트를 가열하는 과정에서 단 0.5도만의 온도 변화라도 선의 굵기를 변화시키거나 감도에 영향을 미쳐 공정을 망칠 수 있습니다. 저희는 이러한 열 변동을 최소화하기 위해 적외선 램프를 설계했습니다. 이를 통해 몇 시간 동안이나 일정한 온도를 유지할 수 있습니다.</p>