http://ir-heating-master.com/ko/tags/ir/ Recent content in IR on Master Infrared Heating Systems Hugo ko Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="웨이퍼용 정밀 IR 센서"></p> <p>왜 매초가 중요한 상황에서는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한지<br> 만약 여전히 웨이퍼를 가열하기 위해 뜨거운 공기를 사용하고 있다면, 그건 사실상 기다리는 것에 불과합니다.<br> 강제 공기 순환 방식을 생각해보세요. 먼저 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이퍼를 가열할 때까지 기다려야 합니다. 이 방식은 매우 느립니다. 반면 적외선 가열은 중간 단계를 생략합니다. 전자기파를 이용해 에너지를 직접 실리콘 기판으로 전달하기 때문입니다. 기다릴 필요도 없고, 불필요한 절차도 없습니다.<br> <strong>진짜 문제는 시간입니다.</strong><br> 첨단 처리 과정에서는 시간이 곧 수익성을 결정합니다. 뜨거운 공기를 사용할 경우, 챔버가 완전히 따뜻해질 때까지, 혹은 다시 차가워질 때까지 기다려야 합니다. 정말 힘든 일입니다.<br> 적외선 램프는 다릅니다. 몇 초 안에 원하는 온도에 도달합니다. 급속 열처리(RTP)에서는 그 몇 초가 매우 중요합니다. 스위치를 끄면 열도 거의 즉시 멈춥니다. 더 이상 식지 않는 뜨거운 공기와 싸울 필요가 없습니다.<br> <strong>또 하나의 문제는 ‘차가운 부분’입니다.</strong><br> 300mm 웨이퍼를 사용할 때, 가장자리 부분의 온도가 제대로 오르지 않는 경우가 있습니다. 공기 대류 방식은 이런 불균일성을 유발합니다.<br> 이 문제는 적외선 센서를 사용하여 표면 온도를 실시간으로 모니터링함으로써 해결할 수 있습니다. 그렇게 하면 특정 부분에 더 많은 열을 가할 수 있습니다. 가장자리 부분의 온도가 낮으면, 외부 램프의 세기를 높이면 됩니다. 이 방식은 훨씬 더 효과적입니다. 게다가 웨이퍼가 비틀리는 것을 방지하고, 도핑 프로파일을 정확하게 유지할 수 있습니다.<br> <strong>물론, 모든 것이 완벽한 것은 아닙니다. 타협점도 있습니다.</strong><br> 적외선 가열은 매우 강력하지만, 그만큼 전력 공급 장치에 큰 부담을 줍니다. 또한 PID 조절에도 매우 주의해야 합니다.<br> 센서의 오차가 조금이라도 있으면, 온도가 너무 높아져서 전체 작업이 망가질 수 있습니다. 교정을 제대로 하지 않으면 스트레스가 됩니다.<br> 또한 램프의 상태도 주의해야 합니다. 필라멘트가 마모되면 열이 제대로 전달되지 않습니다. 그러므로 “한 번 설정하고 잊어버리는” 방식은 통하지 않습니다. 안정적인 생산성을 위해서는 정기적인 교체가 필요합니다.</p> http://ir-heating-master.com/ko/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ Thu, 23 Jul 2026 11:59:59 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="적외선 방사체용 세라믹 엔드캡"></p> <p><strong>입자 발생을 막아라: 클래스 100 클린룸의 올바른 난방 방식</strong><br> 클래스 100 클린룸을 운영하고 있다면, 단 하나의 미세한 입자라도 문제가 될 수 있음을 잘 알고 있을 것입니다. 작은 이물질 하나만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.<br> 문제는 보통 난방 소자에 있습니다. 대부분의 일반적인 IR 램프는 저가의 금속이나 접착제로 만들어져 있습니다. 열이 반복적으로 가해지면 그러한 재료들이 파괴되어 오염물질이 공정에 유입됩니다. 이는 재앙을 초래할 수 있습니다.<br> 우리는 이 문제를 해결하기 위해 저품질의 부품들을 버리고, 고순도의 합성 석영관과 특수한 세라믹 커버를 사용하기로 했습니다.</p> http://ir-heating-master.com/ko/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Sun, 12 Jul 2026 10:27:44 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="적외선 램프용 알루미늄 반사기"></p> <p><strong>전력 낭비를 멈추세요: IR 열을 효과적으로 처리하는 방법</strong><br> 솔직히 말해서, 반도체 제조 공정에서 전력을 낭비하는 것은 그냥 돈을 버리는 것과 같습니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사판을 사용하지만, 문제는 이러한 반사판들이 IR 램프의 모든 스펙트럼의 빛을 효과적으로 반사하지 못한다는 점입니다. 그로 인해 많은 에너지가 그대로 기계의 섀시로 들어가 버립니다. 이는 분명한 낭비입니다.</p> http://ir-heating-master.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 04:33:07 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/quartz-sleeve-for-fab-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="IR 램프용 석영 슬리브"></p> <p>팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정이 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 이행해야 하는 과제입니다. 0.5°C의 온도 변화만으로도 치명적인 결과가 발생할 수 있으며, 심지어 작은 먼지 한 알만으로도 칩이 손상될 수 있습니다. 저희가 사용하는 쿼츠 소재의 슬리브는 바로 이러한 상황을 고려하여 설계되었습니다. 이 슬리브는 램프의 출력을 안정적으로 유지시키고, 챔버 내부를 깨끗하게 유지하며, 공정을 효과적으로 제어해줍니다.</p>