http://ir-heating-master.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Master Infrared Heating Systems Hugo ko Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p><strong>IR을 이용한 MEMS 센서의 건조 처리</strong><br> 만약 MEMS 센서를 다룬 경험이 있다면, 웨이퍼를 건조하는 데 있어서 겪는 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 물방울이나 이온 오염만 있어도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔지만, 솔직히 말해서 웨이퍼를 건조시키기 위해 전체 챔버를 가열하는 것은 에너지 낭비입니다.</p>