http://ir-heating-master.com/ko/tags/pecvd/ Recent content in PECVD on Master Infrared Heating Systems Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 05:38:06 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ Fri, 26 Jun 2026 05:38:06 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/pecvd-heating-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="PECVD 가열용 적외선 방사체"></p> <p>팹에서는 포토레지스트를 건조시키거나 웨이퍼를 말리는 과정에서 발생하는 열 변동이 단순히 생산 속도를 저하시키는 문제에 그치지 않습니다. 이러한 열 변동은 웨이퍼의 치수를 변화시키고 수율을 떨어뜨립니다. 따라서 빠르게 열을 전달하면서도 일정한 온도를 유지할 수 있는 시스템이 필요합니다.</p>