http://ir-heating-master.com/ko/tags/pid/ Recent content in PID on Master Infrared Heating Systems Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 02:50:13 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/pid-controlled-semiconductor-heater/ Mon, 01 Jun 2026 02:50:13 +0800 http://ir-heating-master.com/ko/posts/pid-controlled-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="PID 제어 반도체 히터"></p> <p>라인에서는 온도가 단순한 배경 조절기가 아니라 공정을 구동하는 핵심 요소다. 포토레지스트 소프트 베이크 중 몇 도만 차이가 나도 중요 치수(CD) 목표가 벗어날 수 있다. 웨이퍼 건조 시 차가운 곳이 생기면 스핀, 베이크, 에칭을 거쳐도 남아있는 워터 마크가 생길 수 있다. 열 거동이 어긋나면 사전 경고는 없고, 불량, 재작업, 그리고 팹 전체에 영향을 주는 예기치 않은 중단이 발생한다. 우리는 공정이 반복 가능한 열을 빠르고 깨끗하게 필요로 할 때, 그리고 교대, 로트, 장비 전반에 걸쳐 제어가 유지되어야 할 때를 위해 PID 제어 반도체 히터를 설계했다.</p>