Dalam proses pembuatan wafer, penggunaan biosensor tidak membenarkan berlakunya perubahan suhu yang ketara. Perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan boleh mengubah lebar garisan pada wafer, menjejaskan kepekaan alat pengesan tersebut, dan seterusnya merosakkan hasil pengeluaran. Kami telah mencipta lampu inframerah khas untuk mengekalkan suhu pada tahap yang stabil, sepanjang masa.
Apa yang penting ialah cara kita mengendalikan proses pemanasan ini. Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang dilindungi oleh lapisan kuarsa, agar haba dapat disalurkan dengan cepat dan tanpa gangguan. Kekonsistenan suhu pada permukaan wafer adalah sekitar ±0.1°C, seperti yang ditunjukkan melalui pengukuran secara langsung. Ketepatan hasil pengeluaran dari satu kitaran ke kitaran seterusnya adalah sekitar ±0.2°C, jadi profil pemanasan tidak akan berubah. Lampu-lampu ini digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dan jumlah zarah debu semasa operasi adalah sifar. Prestasi sistem tetap stabil pada tahap 1% selepas 5,000 jam operasi, manakala masa tindak balas terhadap perubahan suhu adalah kurang dari 2 saat – cukup cepat untuk memastikan kawalan suhu yang tepat.
Biosensor bergantung pada lapisan tipis dan bahan kimia yang sensitif, yang tidak boleh bertolak ansur dengan kawasan panas atau sisa pelarut. Dengan penggunaan inframerah, wafer dipanaskan secara langsung, bukan ruang di sekelilingnya, jadi kelewatan suhu diminimumkan, dan kawalan kualiti menjadi lebih baik. Hasilnya ialah kadar kejayaan pengeluaran yang lebih tinggi, kurangan kerja-kerja pembetulan, serta kawalan kualiti yang boleh diharapkan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana haba disalurkan mengikut keperluan, bukan secara berterusan. Kebolehpercayaan sistem pula meningkat, sekali gus mengurangkan masa henti yang tidak dirancang – sesuatu yang sangat penting apabila proses pengeluaran berjalan lancar.
Beberapa perkara yang perlu diperhatikan: Lampu ini memerlukan sumber kuasa khusus serta sistem pengukuran suhu yang tepat untuk memastikan suhu kekal stabil. Ia boleh dipasang dengan mudah pada landasan standard, tetapi pada stesen pemanasan lama, mungkin diperlukan sedikit pengubahsuaian pada struktur penyangga. Pastikan laluan kabel dalam bilik bersih dipilih dengan betul, agar aliran udara tetap lancar dan tiada zarah debu masuk ke dalam sistem. Dengan penyesuaian yang tepat, sistem ini akan berfungsi dengan baik sejak hari pertama operasi.