Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)

Mon, 08 Jun 2026 05:27:44 +0800

Di lantai pembuatan, SRD yang meninggalkan kesan air atau partikel pada wafer bukan hanya kelihatan buruk—ia merugikan hasil. Lampu inframerah adalah pemacu terma bagi keseluruhan kitaran, dan ia menetapkan garis antara pengeringan yang sesuai dengan anggaran terma dan yang menegangkan filem.

Apa yang penting, dari segi teknikal Kami merancang lampu inframerah SRD berdasarkan tingkap proses, bukan lembaran spesifikasi yang bercahaya. NIR gelombang pendek memberikan peningkatan suhu yang cepat, dan pembalut kuarza serta geometri reflektor memastikan keseragaman di peringkat wafer dalam ±0.1°C sepanjang putaran. Keluaran tetap stabil cukup untuk melindungi integriti photoresist selepas pengeringan lembut dan keras, dan ia beroperasi 24/7 tanpa menambah partikel—sesuai untuk bilik bersih Kelas 1–100. Kebolehulangan bergantung kepada mencapai titik set yang sama, kitaran demi kitaran, dengan drift yang minimum selama ribuan jam. Mengapa ia berfungsi dalam SRD Dalam SRD, lampu perlu menguapkan bilasan tanpa memasak substrat atau timbunan polimer. Kawalan terma yang ketat memendekkan fasa pengeringan, memastikan kawalan dimensi kritikal tetap ketat, dan mengurangkan sisa. Anda memperoleh ruang tambahan untuk throughput dan selang penyelenggaraan yang boleh diramal, sementara penggunaan tenaga menurun berkat pengikatan NIR yang cekap dan respons terma yang cepat. Pada garis litografi, itu bermakna kurang lot kerja semula dan sejarah terma garis pandang yang konsisten pada setiap wafer. Berikut adalah butiran praktikal Pemasangan perlu tepat: penjajaran optik kepada paksi putaran dan antara muka yang bersih kepada ruang. Jika tidak dilakukan dengan betul, anda akan melihat titik panas dan pengeringan yang tidak sekata. Lampu beroperasi dalam parameter voltan dan penyejuk yang ditentukan, dan geometri ruang perlu sepadan dengan profil reflektor. Rancang untuk pembakaran awal yang singkat, kemudian pemeriksaan keluaran berkala untuk mengekalkan keseragaman ±0.1°C sepanjang kitaran tugas penuh SRD.

Bilas on Master Infrared Heating Systems

Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)

Di lantai pembuatan, SRD yang meninggalkan kesan air atau partikel pada wafer bukan hanya kelihatan buruk—ia merugikan hasil. Lampu inframerah adalah pemacu terma bagi keseluruhan kitaran, dan ia menetapkan garis antara pengeringan yang sesuai dengan anggaran terma dan yang menegangkan filem.