Pembuatan biosensor menggunakan lampu inframerah

Thu, 18 Jun 2026 04:48:04 +0800

Dalam proses pembuatan wafer, penggunaan biosensor tidak membenarkan berlakunya perubahan suhu yang ketara. Perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan boleh mengubah lebar garisan pada wafer, menjejaskan kepekaan alat pengesan tersebut, dan seterusnya merosakkan hasil pengeluaran. Kami telah mencipta lampu inframerah khas untuk mengekalkan suhu pada tahap yang stabil, sepanjang masa.

Apa yang penting ialah cara kita mengendalikan proses pemanasan ini. Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang dilindungi oleh lapisan kuarsa, agar haba dapat disalurkan dengan cepat dan tanpa gangguan. Kekonsistenan suhu pada permukaan wafer adalah sekitar ±0.1°C, seperti yang ditunjukkan melalui pengukuran secara langsung. Ketepatan hasil pengeluaran dari satu kitaran ke kitaran seterusnya adalah sekitar ±0.2°C, jadi profil pemanasan tidak akan berubah. Lampu-lampu ini digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dan jumlah zarah debu semasa operasi adalah sifar. Prestasi sistem tetap stabil pada tahap 1% selepas 5,000 jam operasi, manakala masa tindak balas terhadap perubahan suhu adalah kurang dari 2 saat – cukup cepat untuk memastikan kawalan suhu yang tepat.

Biografi on Master Infrared Heating Systems

Pembuatan biosensor menggunakan lampu inframerah