Perisai kaca kuarsa untuk lampu fab.

Fri, 17 Jul 2026 08:06:19 +0800

Jangan biarkan kegagalan lampu merosakkan hasil pengeluaran anda

Dalam kilang yang beroperasi pada kapasiti tinggi, kerosakan lampu merupakan masalah yang sangat serius. Ia bukan sekadar menyebabkan gangguan operasi sahaja. Apabila lapisan kaca kuarsa pecah, serpihan kaca dan bahan kimia akan jatuh terus ke atas wafer tersebut. Ini bermakna wafer tersebut perlu dibuang, dan proses pembersihan akan mengambil masa yang lama.

Kami telah mencari cara yang lebih baik: letakkan lapisan kaca kuarsa di antara unsur pemanas dan bahan yang diproses. Cara ini mudah, tetapi berkesan.

Tiub pemanas kuarsa gelombang sederhana

Sat, 20 Jun 2026 06:19:22 +0800

Di bilik pengeluaran, anda tahu prosedurnya: perubahan suhu sebanyak 0.5°C sahaja sudah cukup untuk mengubah profil photoresist. Satu zarah kecil pun boleh merosakkan cip yang sedang diproses. Tiub pemanas jenis kuarsa gelombang sederhana digunakan di sini. Kawalan haba bukan sekadar tetapan semata-mata, tetapi merupakan sebahagian daripada proses pengeluaran itu sendiri.

Apa yang penting dalam proses ini
Kuarsa gelombang sederhana memancarkan tenaga dalam julat 2.5–4 μm. Tenaga ini dapat diserap dengan baik oleh photoresist dan lapisan air yang tipis, tanpa menyebabkan tekanan berlebihan pada bahan asasnya. Ini membolehkan pemanasan yang cepat dan terkawal, dengan inersia haba yang rendah. Pada seluruh permukaan wafer, suhu dapat dikawal pada tahap ±0.1°C, dan kualiti hasil pengeluaran tetap konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Reka bentuk yang sesuai untuk bilik bersih memastikan penghasilan zarah-zarah kecil hampir sifar – sesuai untuk persekitaran Kelas 1–100. Prestasi pemanas tetap stabil walaupun setelah 5,000 jam operasi, dengan penurunan luminensi yang minimum.

Kuarz on Master Infrared Heating Systems

Perisai kaca kuarsa untuk lampu fab.

Jangan biarkan kegagalan lampu merosakkan hasil pengeluaran anda

Tiub pemanas kuarsa gelombang sederhana