Cara mengeringkan wafer selepas dibersihkan

Mon, 29 Jun 2026 07:42:01 +0800

Di bilik pengeringan, wafer yang baru saja selesai dicuci masih belum siap sepenuhnya. Kehadiran air, zarah-zarah kecil, serta tekanan termal akibat proses pengeringan yang tidak tepat boleh merosakkan kualiti wafer sebelum ia sampai ke langkah seterusnya. Cabaran sebenarnya bukan sekadar membuang air dari permukaan wafer, tetapi juga mengawal suhu permukaan wafer dengan tepat.

Apa yang penting dari segi teknikal
Kami menggunakan sistem pengeringan yang menghasilkan tenaga yang terkawal dan cepat. Sistem ini memastikan suhu permukaan wafer kekal stabil pada tahap ±0.1°C. Dengan cara ini, tiada kawasan yang terlalu panas atau sejuk yang boleh menyebabkan perubahan struktur permukaan wafer. Pemanas yang digunakan adalah jenis inframerah gelombang pendek dan sederhana, dengan komponen kuarsa dan serat karbon untuk memastikan suhu tetap stabil. Ini membantu mengelakkan pembentukan zarah-zarah kecil semasa proses pengeringan, sekaligus memastikan permukaan wafer bersih. Hasilnya, sudut sentuhan antara wafer dan permukaan pengeringan dapat dikawal dengan baik, dan permukaan wafer bebas daripada sisa-sisa kotoran.

Bulb lampu pengering wafer yang murah

Tue, 23 Jun 2026 01:01:03 +0800

Di bahagian pengeringan wafer, tingkah laku bahan photoresist bergantung sepenuhnya pada profil suhu yang wujud—terutamanya semasa proses pengeringan lembut dan keras. Sebarang perubahan suhu sebanyak beberapa darjah, atau pemanasan yang tidak seragam di seluruh permukaan wafer, akan menyebabkan masalah seperti ketidakkonsistenan garis tepi wafer, perubahan ketebalan garis tersebut, dan penurunan kualiti wafer. Lampu tersebut bukan sekadar alat tambahan; ia merupakan komponen penting yang digunakan untuk mengawal suhu dengan tepat.

Apa yang penting ialah kualiti lampu tersebut agar dapat memenuhi keperluan proses pengeringan wafer dan pemprosesan bahan photoresist. Penggunaan lampu halogen dengan selubung kuarza membolehkan respons yang cepat dan terkawal. Gelombang pendek atau sederhana yang dihasilkan oleh lampu ini mampu memberikan tenaga yang diperlukan untuk mengekstrak pelarut tanpa menyebabkan masalah. Sasarkan tahap keseragaman suhu sekitar ±0.1°C, dan pastikan ia dapat dicapai secara konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Dalam bilik bersih kelas 1–100, lampu-lampu ini berfungsi dengan baik—tanpa menghasilkan sebarang zarah debu pada suhu operasi tertentu. Reka bentuk lampu ini sesuai digunakan bersama peralatan yang sudah ada: voltan 100–240 V, bentuk yang kompak, serta antaramuka sambungan yang mudah digunakan.

Wafel on Master Infrared Heating Systems

Cara mengeringkan wafer selepas dibersihkan

Bulb lampu pengering wafer yang murah