Op de productieafdeling zijn thermische schommelingen een sluipmoordenaar van de kwaliteit van het product – ze zijn vaak niet zichtbaar. Een verschil van 0,5°C tijdens het ‘soft bake’-proces van het photoresist kan al leiden tot problemen met de CD’s. Als er nog vocht achterblijft na het reinigen, kan dat tot microbruggen leidden. Tijdens het verpakken hebben oneffenheden in het droogproces invloed op de kwaliteit en betrouwbaarheid van het product. Er is dus behoefte aan een constante temperatuur – binnen de door jou ingestelde omstandigheden in de kamers.
Wat technisch gezien belangrijk is:
Wij bouwen lampen met een gecontroleerde omgeving, waarbij de temperatuur nauwkeurig wordt gereguleerd en alles schoon wordt uitgevoerd. Halogene elementen zorgen voor snel en nauwkeurig verwarming, met een precieze spectrumbeheersing. Hierdoor blijft de uniformiteit van de wafers binnen ±0,1°C over de hele behandelingzone. Kwartscomponenten en apparaten met lage uitstoot zorgen ervoor dat er geen deeltjes ontstaan, zodat de omgeving in een klasse 1–100 blijft. Het systeem houdt de gewenste temperatuur vast onder invloed van stikstof of droge lucht, zodat vocht en zuurstof niet binnendringen. Dankzij de geïntegreerde feedbackfunctie blijft het thermische profiel elke keer hetzelfde, zodat er nauwkeurige gegevens beschikbaar zijn voor controle tussen verschillende batches.
Waarom dit werkt:
Deze lampen zijn ideaal gebruikelijk waar precisie belangrijk is: bij het drogen van wafers na het reinigen, tijdens het ‘soft bake’ en ‘hard bake’-proces voor lithografie, en bij het drogen van pakketten. Hierdoor worden de tijden voor het bereiken van de gewenste temperatuur korter, wordt er minder energie verbruikt per batch, en worden er minder defecte wafers geproduceerd. De procesparameter blijft constant, omdat de temperatuurcurve precies overeenkomt met de gewenste waarde. Een stabiele omgeving verminderd ook oxidatie en vervuiling op het oppervlak, waardoor de hechting en kwaliteit van het product verbeteren.
Praktische details die je moet meenemen in je planning:
Bij de installatie moet je rekening houden met de interfaceën voor het zuiveren en afvoeren van lucht. Ook moet de lamp worden beschermd tegen trillingen die kunnen worden overgedragen op het product. Na het vervangen van de lamp is het nodig om even te wachten tot de uniformiteit is bereikt. Plan onderhoud rondom het einde van de levensduur van de lamp, om onverwachte stilstand te voorkomen. Zorg er ook voor dat de gasvoorziening voldoet aan de vereisten voor de gewenste temperatuur.