http://ir-heating-master.com/nl/tags/draai/ Recent content in (Draai on Master Infrared Heating Systems Hugo nl Mon, 08 Jun 2026 05:27:44 +0800 http://ir-heating-master.com/nl/posts/srd-spin-rinse-dryer-infrared-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:27:44 +0800 http://ir-heating-master.com/nl/posts/srd-spin-rinse-dryer-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="SRD (Spin Rinse Dryer) infraroodlamp"></p> <h1 id="op-de-fabrieksvloer">Op de fabrieksvloer</h1> <p>Een SRD die een watermerk of een deeltje op de wafer achterlaat, ziet er niet alleen slecht uit—het vermindert de opbrengst. De infraroodlamp is de thermische aanjager van de hele cyclus, en het stelt de grens vast tussen een droogproces dat binnen het thermische budget past en een dat de film belast.</p> <p><strong>Wat technisch belangrijk is</strong> We ontwerpen SRD-infraroodlampen rond het procesvenster, niet een glanzend specificatiedocument. Korte golf NIR zorgt voor een <a href="https://o-yate.net">snelle</a> temperatuurstijging, en de kwartsomhulsel plus reflectorgeometrie houden de uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0.1°C tijdens de spin. De output blijft voldoende stabiel om de integriteit van de fotoresist na de soft bake en hard bake te beschermen, en het draait 24/7 zonder deeltjes toe te voegen—geschikt voor cleanroom Klasse 1–100. Herhaalbaarheid komt neer op het bereiken van dezelfde setpoint, cyclus na cyclus, met minimale drift over duizenden uren.</p>