IR on Master Infrared Heating Systems

Precisie IR sensor voor wafer

Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800

Waarom IR-verwarming beter is dan geforceerde luchtcirculatie wanneer elke seconde telt

Als je nog steeds afhankelijk bent van geforceerde luchtcirculatie voor je wafers, speel je eigenlijk een spel van wachten.
Denk na over hoe geforceerde luchtcirculatie werkt: je verhit de lucht en wacht daarna tot deze de wafer heeft opgewarmd. Het is langzaam. Er is een irritante vertraging. IR-verwarming schakelt die tussenpersoon uit. Het stuurt energie rechtstreeks naar het siliciumsubstraat met behulp van elektromagnetische straling. Geen wachten. Geen onnodige complicaties.
De echte factor die tel is de tijdskost.
Bij diepe verwerking is tijd cruciaal voor het behouden van winstmarges. Met geforceerde luchtcirculatie moet je wachten tot de hele kamer is opgewarmd – en nog erger: tot deze weer is afgekoeld. Het is een zware taak.
IR-lampen zijn anders. Ze bereiken de gewenste temperatuur al binnen seconden. Bij Rapid Thermal Processing (RTP) zijn die paar seconden van essentieel belang. En wanneer je de schakelaar uitzet? De hitte verdwijnt bijna onmiddellijk. Je hoeft niet te vechten tegen een enorme hoeveelheid hete lucht die maar niet wil afkoelen.
Dan is er nog het probleem van ‘koude plekken’.
We hebben dit allemaal meegemaakt: je werkt met een 300mm-wafer, maar de randen zijn niet op de juiste temperatuur. Luchtcirculatie veroorzaakt vaak zulke oneffenheden.
We lossen dit op door IR-sensoren te gebruiken om de oppervlaktetemperatuur in real-time in de gaten te houden. Hierdoor kunnen we de hitte gericht toepassen. Als de randen iets koeler zijn, verhogen we gewoon de intensiteit van de buitenste lampen. Het is een veel logischer manier van werken. Bovendien voorkomt het dat de wafer vervormt en blijft het dopantprofiel precies waar het hoort te zijn.
Het is natuurlijk geen magie. Er zijn ook nadelen.
IR-verwarming heeft een enorme kracht, waardoor de stroomvoorziening onder druk komt te staan. Je moet ook goed opletten bij het afstellen van de PID-knoppen.
Als je sensoren zelfs maar een beetje fout zijn, kom je de gewenste temperatuur voorbij – en dan heb je de hele partij verpest. Het is stressvol als je je kalibratie niet kunt vertrouwen.
Kijk ook goed naar je lampen. Naarmate de filamenten versleten raken, begint de hitte te fluctueren. Je kunt ze niet zomaar ‘instellen en vergeten’. Je hebt een strikt vervangingschema nodig om de productiekwaliteit op peil te houden.

Ceramische eindkapping voor IR emitter

Thu, 23 Jul 2026 11:59:59 +0800

Stop met het vervuilen van uw producten: zorg dat uw Class 100-omgeving optimaal werkt
Als u een Class 100-schoonruimte beheert, kent u vast het probleem van één enkele ongewenste deeltje dat zich in de omgeving bevindt. Eén klein stofdeeltje kan al genoeg zijn om het hele product te bederven.

Het probleem zit meestal in de verwarmingselementen. De meeste standaard IR-lampen zijn gemaakt van goedkope materialen of lijmstoffen op de aansluitpunten. Zodra ze gaan opwarmen en afkoelen – door die constante thermische cycli – beginnen deze materialen te verslechteren. Ze breken af en leveren vervuilende stoffen af in uw proces. Het is een ramp die op het punt staat te gebeuren.

Aluminiumreflector voor IR lamp

Sun, 12 Jul 2026 10:27:44 +0800

Stop met het verspillen van energie: een betere manier om IR-heat te beheren

Laten we eerlijk zijn: het verspillen van energie in een halfgeleiderfabriek is gewoon geld weggooiden. De meeste mensen gebruiken standaard aluminiumreflectoren, maar hier ligt het probleem – ze zijn niet goed in het opvangen van het volledige spectrum van een IR-lamp. Veel van die energie gaat gewoon verloren in de behuizing van de machine. Dat is zonde.

Daarom zijn we overgestapt op reflectoren die met goud zijn bedekt. Hierdoor wordt de verloren gegane energie weer naar de chip gestuurd, waar deze thuishoort.

Kwartsmouw voor fab IR lamp

Wed, 24 Jun 2026 04:33:07 +0800

Op de productieafdeling wordt het verhitten van de fotoreser niet aanbevolen – het is eerder een vereiste die moet worden nageleefd. Een verschil van 0,5°C kan al leiden tot problemen met de nauwkeurigheid van de afmetingen. Eén enkele deeltje kan zelfs schade toebrengen aan de chip. Onze kwartskussens voor de infraroodlampen zijn speciaal ontworpen om deze uitdagingen het hoofd te bieden: ze zorgen ervoor dat de lichtsterkte constant blijft, dat de kamers schoon blijven en dat het proces onder controle blijft.