MEMS sensorplaat droogheater
Het schoonmaken van MEMS-sensoren met infraroodstraling
Als je ooit met MEMS-sensoren hebt gewerkt, weet je hoe lastig het kan zijn om de schijven te...
Infrarooddroger voor wafers
Out op de lithografievloer komt de wafer van de laatste spoeling af en start de klok. Conventioneel drogen laat watermerken, dunne films en deeltjes...