Na linii produkcyjnej drift termiczny podczas wysuszania płytek krzemowych nie jest tylko problemem wpływającym na szybkość produkcji. Powoduje zmiany w kluczowych wymiarach płytek i obniża ich jakość. Potrzebna jest energia, która będzie dostarczana szybko, w stałej ilości i bez żadnych zakłóceń – z seansu na seans.
Nasze emiterzy ciepła typu PECVD wykorzystują energię fal krótkich, co umożliwia szybką reakcję termiczną. Równomierność temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C w całym oknie procesowym. Kuźnice kwarcowe oraz specjalnie zaprojektowane żarniki zapewniają brak tworzenia się cząstek, dzięki czemu można utrzymać warunki klasy czystości 1–100. Wydajność urządzenia pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin, przy zmianie intensywności światła mniejszej niż 5%, co sprawia, że parametry termiczne są powtarzalne. Urządzenie można łatwo wdrożyć do istniejących modułów PECVD i innych urządzeń do obróbki termicznej – posiada standardowe opcje napięcia i ma kompaktową budowę, co nie utrudnia organizacji przestrzeni w laboratorium.
Podczas suszenia i czyszczenia płytek krzemowych emiterzy zapewniają szybką dezorpcję bez opóźnień termicznych, co skraca czas procesu przy jednoczesnym unikaniu nadmiaru wilgoci na powierzchni płytki. W litografii umożliwiają precyzyjną kontrolę temperatury podczas procesu pieczenia, co stabilizuje profil fotoopornika i równomierność jego właściwości. Podczas opakowywania umożliwiają szybkie i równomierne utwardzanie materiałów używanych do izolacji płytek, co skraca czas przebywania płytek w piecu bez negatywnego wpływu na ich przyczepność.
W połączeniu z energooszczędną elektroniką sterującą, zużycie energii maleje w porównaniu z grzewczymi elementami opartymi na rezystorach. Ponadto interwały konserwacji są dłuższe, ponieważ nie ma żadnych gorących żarników narażonych na działanie gazów używanych w procesie.
Podczas instalacji istotne jest dopasowanie geometrii reflektora oraz układu sterowania termicznego urządzenia. Dostarczamy mapy kalibracyjne dla najpopularniejszych konfiguracji komór. Gdy przechodzisz z użycia fal średnich na fale krótkie, oczekuj trochę dłuższego czasu na osiągnięcie żądanej temperatury. Upewnij się również, że rozstaw czujników odpowiada temu, co podajemy w danych technicznych. Koniecznie użyj elementów montażowych dostosowanych do warunków panujących w pomieszczeniach o wysokiej czystości. Sprawdź również kompatybilność linii doprowadzających gazy, aby uniknąć powstawania kondensatu na styku z oknem komory.