Na linha de produção, a deriva térmica durante o processo de secagem dos wafers não é apenas um fator que prejudica a produtividade. Ela também afeta as dimensões críticas dos wafers e reduz sua produtividade. É necessário que o calor seja aplicado de maneira rápida e constante, mantendo-se estável de turno em turno.
Nossos emissores infravermelhos para aquecimento em PECVD utilizam energia de onda curta para garantir uma resposta térmica rápida, com uniformidade dentro de ±0,1°C em toda a janela de processo. Os invólucros de quartzo e os filamentos projetados com precisão evitam a geração de partículas, mantendo assim o ambiente dentro das condições exigidas pela classe de sala limpa 1–100. A saída de calor permanece estável por mais de 5.000 horas, com menos de 5% de variação na intensidade do calor, garantindo assim a repetibilidade dos resultados. O sistema pode ser integrado diretamente aos módulos de PECVD e de processamento térmico existentes, com opções de tensão padrão e um tamanho compacto que não interfere no layout da infraestrutura.
Na secagem e limpeza dos wafers, os emissores permitem a desorção sem atrasos térmicos, reduzindo assim o tempo de ciclo, ao mesmo tempo em que mantêm a umidade superficial dos wafers sob controle. Na litografia, eles permitem um controle preciso da temperatura, estabilizando os perfis do fotoreativo e a uniformidade do diâmetro do wafer. Na fase de embalagem, eles permitem uma cura rápida e uniforme dos materiais utilizados para envolver os wafers, reduzindo o tempo de permanência no forno sem comprometer a adesão dos materiais.
Juntamente com eletrônicos eficientes em termos energéticos, o consumo de energia diminui em comparação com os aquecedores resistentivos. Além disso, os intervalos de manutenção aumentam, pois não há filamentos quentes expostos aos gases utilizados no processo.
O que é importante na instalação é garantir que a geometria do refletor e o circuito de controle térmico do equipamento estejam bem ajustados. Fornecemos mapas de calibração para as configurações mais comuns de câmaras. Quando se passa de perfis de onda média para perfis de onda curta, espera-se um tempo maior para atingir a temperatura desejada. Certifique-se de que a localização dos sensores esteja alinhada com o perfil térmico fornecido. Utilize hardware de montagem compatível com salas limpas e verifique a compatibilidade das linhas de gás para evitar a formação de condensação nas interfaces.