Fabricação de biossensores com lâmpadas infravermelhas

Thu, 18 Jun 2026 04:48:04 +0800

Na linha de produção de wafers, o funcionamento dos biossensores não permite nenhum tipo de desvio térmico. Uma variação de meio grau durante o processo de aquecimento do fotoresist pode alterar a espessura da linha de impressão, afetar a sensibilidade do sensor e até mesmo interromper o processo. Construímos nossas lâmpadas infravermelhas de modo que elas mantenham essa estabilidade térmica, hora após hora.

O que é importante aqui é bastante simples: utilizamos emissores de luz infravermelha de onda curta, envoltos em invólucros de quartzo, para que o calor seja transmitido rapidamente e sem causar problemas. A uniformidade térmica na superfície do wafer fica entre ±0,1°C, conforme confirmado por medições in situ. A repetibilidade de ciclo em ciclo está dentro de ±0,2°C, garantindo que os parâmetros de aquecimento permaneçam constantes. As lâmpadas são instaladas em salas limpas de classe 1–100, e a contagem de partículas durante a operação é zero. A eficiência energética permanece dentro de 1% ao longo de mais de 5.000 horas, e o tempo de resposta térmica é inferior a 2 segundos – tempo suficiente para um controle preciso das temperaturas.

Bio on Master Infrared Heating Systems

Fabricação de biossensores com lâmpadas infravermelhas