На производственном участке тепловые колебания во время сушки фотополимеров или пластинок не только снижают скорость производства, но и приводят к изменению критических размеров деталей, что также снижает производительность. Необходимо, чтобы тепло поставлялось быстро, стабильно и без помех – на протяжении всего процесса.
Наши инфракрасные излучатели для процессов PECVD используют кратковолновую энергию для мгновенного расширения объема тепла; при этом однородность температуры на поверхности пластинки сохраняется в пределах ±0,1°C в течение всего процесса. Кварцевые корпуса и специальные нитьи предотвращают образование частиц, что позволяет сохранять условия класса чистоты 1–100 в чистой комнате. Эффективность работы устройства остается стабильной в течение более 5 000 часов, с отклонением интенсивности излучения менее 5%, что обеспечивает возможность точного контроля температуры. Устройство можно легко интегрировать в существующие установки PECVD и другие термические устройства; имеются стандартные варианты напряжения, а компактные габариты не мешают расположению других оборудований.
При сушке и очистке пластинок излучатели обеспечивают быстрое удаление влаги без задержек, что сокращает время процесса и предотвращает оседание влаги на поверхности пластинки. В процессе литографии они обеспечивают точный контроль температуры, что способствует стабилизации параметров фотополимеров и однородности их распределения. При упаковке они обеспечивают быстрое и равномерное затвердевание материалов, что сокращает время нахождения пластинок в печи, не ухудшая при этом качество соединений.
Благодаря энергоэффективной электронике потребление энергии снижается по сравнению с резистивными нагревателями, а интервалы технического обслуживания увеличиваются, поскольку нет горячих нитей, подверженных воздействию процессных газов.
Важно при установке правильно подобрать геометрию отражателей и систему контроля температуры оборудования; мы поставляем карты калибровки для распространенных конфигураций камер. При переходе с средневолновых на кратковолновые профили необходимо учитывать дополнительное время на достижение желаемой температуры, а также убедиться, что расположение датчиков соответствует указанным нами параметрам температуры. Также необходимо использовать крепления, совместимые с условиями чистой комнаты, и проверить совместимость газовых трубопроводов, чтобы избежать образования конденсата на интерфейсе.