Сушка on Master Infrared Heating Systems

Энергетический аудит для сушильных установок

Tue, 21 Jul 2026 09:55:19 +0800

Перестаньте нагревать стенки оборудования (и начните эффективно сушить пластины)
Если вы когда-либо работали с оборудованием для сушки полупроводниковых пластин, то знаете, о чем речь. Как только вы открываете камеру, жар сразу бьет вам в лицо. Не только самые пластины, но и самые стенки оборудования становятся слишком горячими.

Это бесполезно. Большинство стандартных нагревателей распространяют тепло во все стороны, из-за чего дорогое оборудование превращается в огромный источник тепла. Система климат-контроля вынуждена работать усерднее, чтобы справиться с этим теплом. Кроме того, сотрудники, выполняющие обслуживание, постоянно рискуют получить опаления.

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800

Очистка МЭМС-датчиков с использованием инфракрасного излучения
Если вы когда-либо работали с МЭМС-датчиками, то знаете, насколько сложна процедура сушки пластин. Даже небольшое количество воды или ионных примесей может сделать всю партию бракованной. Годами мы использовали конвекционные печи, но, честно говоря, нагрев всей камеры только для сушки одной пластины — это огромная трата энергии.

Поэтому мы перешли на использование ламп с коротковолновым инфракрасным излучением. Вместо нагрева воздуха энергия направляется напрямую на поверхность пластины. Это более эффективный способ, а также полезно для окружающей среды.

Дешевая лампочка для сушки вафель

Tue, 23 Jun 2026 01:01:03 +0800

На производственном полу поведение фотополимера напрямую зависит от температурного профиля — особенно во время процессов мягкой и жесткой обработки. Небольшие отклонения температуры или неравномерное нагревание пластины приводят к появлению неравномерностей по краям пластины, изменению ширины линий и снижению качества продукта. Лампа не является просто дополнительным элементом оборудования; она выполняет ключевую роль в контроле температуры.

Важно соблюдать определенные требования при использовании этих ламп. Мы разрабатываем их с учетом особенностей сушки пластин и обработки фотополимера. Галогеновые лампы с кварцевыми корпусами обеспечивают быстрый и контролируемый ответ на изменения температуры. Свет в коротковолновом или средневолновом диапазоне обеспечивает необходимую энергетическую плотность для удаления растворителей без превышения допустимых значений. Целесообразно добиться однородности температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C, причем это должно сохраняться при каждой партии продукции. В чистых комнатах класса 1–100 лампы работают без каких-либо помех — при рабочих температурах не образуется никаких частиц. Корпус лампы соответствует стандартам используемого оборудования: напряжение питания составляет 100–240 В, форма корпуса компактная, а интерфейсы подключения надежные. Это позволяет легко интегрировать лампы в оборудование и сразу приступить к работе.

Инфракрасный нагреватель для сушки пластин

Thu, 04 Jun 2026 03:55:57 +0800

На литографическом участке пластина выходит из последнего ополаскивания, и запускается таймер. Традиционная сушка оставляет следы воды, тонкие пленки и частицы, которые не видны — пока не проявятся как дефекты в фоторезисте. В 300 мм фабрике с чистотой Class 1 это недопустимо. Это потеря выхода продукции.

Что важно в техническом плане
Мы разработали инфракрасный нагреватель сушки пластин на основе коротковолнового ближнего ИК диапазона (NIR). Он быстро передаёт энергию непосредственно в водяную пленку — время отклика менее 50 мс. Тепловое равномерное распределение по поверхности пластины поддерживается в пределах ±0,1°C, что исключает появление горячих или холодных зон, способных повлиять на перерасплавление фоторезиста после мягкой и твёрдой термообработки. Массивы излучателей размещены за запечатанным кварцевым окном с низкой газовыделением и отсутствием частиц на интерфейсе, а платформа совместима с чистыми помещениями до Class 1–100. Повторяемость обеспечивается системой замкнутого контура, поддерживающей заданную температуру с точностью до 0,5%, даже при круглосуточной работе. При многокластерных установках за 18 месяцев не зафиксировано ни одного незапланированного простоя.