Инфракрасный излучатель для нагрева в процессе PECVD

Fri, 26 Jun 2026 05:38:06 +0800

На производственном участке тепловые колебания во время сушки фотополимеров или пластинок не только снижают скорость производства, но и приводят к изменению критических размеров деталей, что также снижает производительность. Необходимо, чтобы тепло поставлялось быстро, стабильно и без помех – на протяжении всего процесса.

Наши инфракрасные излучатели для процессов PECVD используют кратковолновую энергию для мгновенного расширения объема тепла; при этом однородность температуры на поверхности пластинки сохраняется в пределах ±0,1°C в течение всего процесса. Кварцевые корпуса и специальные нитьи предотвращают образование частиц, что позволяет сохранять условия класса чистоты 1–100 в чистой комнате. Эффективность работы устройства остается стабильной в течение более 5 000 часов, с отклонением интенсивности излучения менее 5%, что обеспечивает возможность точного контроля температуры. Устройство можно легко интегрировать в существующие установки PECVD и другие термические устройства; имеются стандартные варианты напряжения, а компактные габариты не мешают расположению других оборудований.

PECVD on Master Infrared Heating Systems

Инфракрасный излучатель для нагрева в процессе PECVD