บนชั้นการผลิต โปรไฟล์การอบ photoresist ที่เปลี่ยนแปลงแม้เพียงครึ่งองศาสามารถส่งผลกระทบต่อเวเฟอร์จำนวนมากได้ การอบแบบ soft bake และ hard bake...

บนสายการผลิต อุณหภูมิไม่ใช่แค่ปุ่มปรับพื้นหลัง แต่เป็นตัวขับเคลื่อนกระบวนการ ระยะผิดเพียงไม่กี่องศาในช่วง photoresist soft bake...