http://ir-heating-master.com/th/tags/%E0%B9%80%E0%B8%A1%E0%B8%A1%E0%B8%AA%E0%B9%8C/ Recent content in เมมส์ on Master Infrared Heating Systems Hugo th Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800 http://ir-heating-master.com/th/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 18:39:41 +0800 http://ir-heating-master.com/th/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="เครื่องอบแห้งแผ่นสเณอร์ไซเคิล MEMS"></p> <p>การทำความสะอาดชิป MEMS ด้วยแสงอินฟราเรด<br> หากคุณเคยทำงานกับเซ็นเซอร์ประเภท MEMS มาก่อน คุณคงรู้ดีว่าการทำให้แผ่นวัสดุแห้งนั้นเป็นเรื่องยากมาก แค่มีจุดน้ำเล็กๆ หรือมีสิ่งปนเปื้อนทางไอออนเพียงเล็กน้อย ก็ทำให้ชิปทั้งชุดกลายเป็นขยะไปเลย ตลอดหลายปีที่ผ่านมา เราใช้เตาอบแบบคอนเวกชันเพื่อทำให้แผ่นวัสดุแห้ง แต่ถ้าพูดกันตามตรงแล้ว การใช้พลังงานมากมายเพียงเพื่อทำให้แผ่นวัสดุแห้งนั้นเป็นการสิ้นเปลืองพลังงานอย่างมาก</p> <p>นั่นคือเหตุผลที่เราหันมาใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นแทน แทนที่จะใช้พลังงานเพื่อทำให้อากาศร้อนขึ้น เราก็ใช้พลังงานโดยตรงกับพื้นผิวของแผ่นวัสดุ วิธีนี้ช่วยประหยัดพลังงานได้อย่างมาก และยังเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมอีกด้วย</p> <p><strong>ข้อดีของการใช้แสงอินฟราเรด</strong><br> แสงอินฟราเรดทำงานโดยการแผ่รังสี คุณไม่จำเป็นต้องรอให้ห้องอุ่นขึ้นก่อน แต่พลังงานจะถูกส่งตรงไปยังพื้นผิวของแผ่นวัสดุโดยตรง แต่คุณต้องปรับความเข้มของพลังงานให้เหมาะสม หากใช้แผ่นวัสดุขนาด 300 มม. หลอดไฟก็ต้องถูกปรับให้เหมาะสมด้วย หากกำลังไฟต่ำเกินไป ก็จะมีรอยแห้งบนพื้นผิวแผ่นวัสดุ แต่ถ้ากำลังไฟสูงเกินไป ก็อาจทำให้โครงสร้างของชิป MEMS เสียหายได้ ดังนั้นจึงต้องมีการปรับสมดุลกันอย่างเหมาะสม</p> <p><strong>อุปกรณ์ที่เราใช้</strong><br> เพื่อให้สามารถใช้แสงอินฟราเรดได้อย่างมีประสิทธิภาพ เราใช้อุปกรณ์ที่ทำจากควอตซ์คุณภาพสูง ซึ่งสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วได้โดยไม่แตกหัก เรายังใช้ไส้หลอดที่มีฮาโลเจนด้วย เพราะมีอายุการใช้งานที่ยาวนาน และสามารถรักษากำลังแสงให้คงที่ได้</p> <p>ส่วนอุปกรณ์อื่นๆ เราใช้ตัวเชื่อมต่อแบบ R7s หรือ SK15 ซึ่งสามารถเชื่อมต่อได้อย่างแน่นหนา ทำให้ไม่มีปัญหาเรื่องการลัดวงจร และการเปลี่ยนหลอดไฟในช่วงบำรุงรักษาก็ทำได้ง่ายขึ้น โดยพื้นฐานแล้วก็เป็นการเปลี่ยนหลอดไฟได้โดยตรง</p> <p><strong>ข้อเสียของการใช้แสงอินฟราเรด</strong><br> การเปลี่ยนมาใช้แสงอินฟราเรดนั้นเป็นประโยชน์ต่อเป้าหมายของ “โรงงานสีเขียว” เพราะช่วยลดเวลาในการทำให้แผ่นวัสดุอุ่นขึ้น และลดการใช้พลังงานต่อแผ่นวัสดุหนึ่งชิ้น แต่ก็มีข้อเสียเช่นกัน พลังงานจำนวนมากที่ใช้นั้นจะทำให้เกิดความร้อนมากมายภายในเครื่อง หากพัดลมระบายความร้อนและอุปกรณ์ระบายความร้อนไม่สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ก็จะทำให้เครื่องร้อนเกินไป และหลอดไฟก็จะเสียหายเร็วขึ้นกว่าที่ควรจะเป็น</p> <p>เมื่อคุณจัดการเรื่องสายไฟและการระบายความร้อนได้ดีแล้ว ทุกอย่างก็จะดำเนินไปอย่างราบรื่น คุณจะสามารถผลิตแผ่นวัสดุได้เร็วขึ้น ไม่มีการสิ้นเปลืองพลังงาน และยังช่วยลดขนาดของเครื่องได้อีกด้วย โดยพื้นฐานแล้วก็คือการแลกเปลี่ยนกำลังไฟในระยะเริ่มต้นเพื่อให้ได้ค่าใช้จ่ายด้านพลังงานที่น้อยลงในท้ายที่สุด</p>