Giriş Gerçekçi olalım. Wafer işleme hattınız düzgün çalışırken, en son ihtiyacınız olan şey, her şeyi durduracak bir parça arızasıdır. İhtiyacınız...

Fabrika katında, fotoresist pişirme profili yarım derece bile saparsa, birçok wafer buna bağlı olarak zarar görebilir. Soft bake ve hard bake sadece...