На виробничій лінії теплові зміни під час сушіння пластин чи фотолітографічних матеріалів не є просто фактором, який знижує продуктивність. Вони також впливають на критичні розміри деталей та призводять до зниження якості продукції. Необхідно, щоб тепло постачалося швидко, залишалося стабільним та не містило домішок – протягом усього процесу.
Наші інфрачервоні емітери для нагріву в технології PECVD використовують енергію коротких хвиль для швидкого нагрівання. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C протягом усього процесу. Кварцові оболонки та спеціальні філаменти запобігають утворенню частинок, тож умови в чистій кімнаті класу 1–100 зберігаються. Ефективність роботи системи залишається стабільною протягом 5 000+ годин, з відхиленням інтенсивності тепла менше 5%, що дозволяє зберігати стабільні умови нагріву. Система може бути легко інтегрована у існуючі модулі PECVD та теплових процесів; вона має стандартні параметри живлення та компактні розміри, що не заважає розташуванню обладнання.
Під час сушіння та очищення пластин емітери забезпечують швидке нагрівання без затримок, що скорочує час процесу та запобігає накопиченню вологи на поверхні пластини. У процесі літографії вони забезпечують точний контроль температури під час нагрівання, що сприяє стабілізації параметрів фотолітографічних матеріалів. Під час упаковки вони забезпечують швидке та однорідне висихання матеріалів, що скорочує час перебування пластини в печі без порушення якості з’єднань.
У поєднанні з енергоефективною електронікою споживання енергії зменшується порівняно з резистивними нагрівачами. Також зменшується частота технічного обслуговування, оскільки немає гарячих філаментів, які піддаються впливу процесних газів.
Щодо встановлення: для досягнення найкращої продуктивності необхідно правильно налаштувати геометрію відбивача та систему контролю температури. Ми надаємо карту калібрування для поширених конфігурацій камер. При переході від середньохвильових до короткohвильових профілів необхідно врахувати додатковий час на нагрівання до потрібної температури. Також необхідно переконатися, що розташування датчиків відповідає параметрам теплового профілю. Використовуйте обладнання, сумісне з умовами чистої кімнати, а також перевірте сумісність газопроводів, щоб уникнути утворення конденсату на поверхні камери.