Role
Виробничому інженеру, технічному закупівельнику та менеджеру з виробництва
Task
Переклад промислової технічної статті українською з максимальною професійною точністю
Вхідний текст
На виробничій ділянці SRD, що залишає водяний знак або частинку на пластині, не лише погано виглядає — це призводить до втрат виходу продукції. Інфрачервона лампа є тепловим приводом усього циклу і визначає межу між сушінням, що вкладається у тепловий бюджет, та таким, що викликає напругу у плівці.
Що є технічно важливим
Ми проектуємо інфрачервоні лампи SRD, орієнтуючись на технологічне вікно процесу, а не на глянцеві характеристики. Короткохвильове NIR забезпечує швидкий приріст температури, а кварцовий корпус та геометрія відбивача підтримують однорідність температури на рівні пластини в межах ±0,1°C по всьому обертанню. Вихідна потужність залишається стабільною настільки, щоб зберегти цілісність фоторезисту після м’якого та твердого випікання і працює 24/7 без внесення часток — відповідно до чистоти класу 1–100. Повторюваність залежить від досягнення того ж самого заданого значення температури в кожному циклі з мінімальним дрейфом протягом тисяч годин.
Чому це працює в SRD
В SRD лампа має випарювати ополіскувач без перегріву підкладки чи полімерного шару. Точний тепловий контроль скорочує фазу сушіння, забезпечує стабільність критичних розмірів та знижує відсоток бракованої продукції. Ви отримуєте додатковий пропускний потенціал та прогнозовані інтервали технічного обслуговування, при цьому енергоспоживання зменшується завдяки ефективному NIR-зв’язку та швидкій тепловій відповіді. На лініях фотолітографії це означає менше переробок та стабільну, прямолінійну теплову історію для кожної пластини.
Практичні деталі
Встановлення повинно бути максимально точним: оптичне вирівнювання по осі обертання та чистий інтерфейс із камерою. Некоректне встановлення призведе до гарячих плям та нерівномірного сушіння. Лампа працює у межах заданих параметрів напруги та охолоджувальної рідини, а геометрія камери має відповідати профілю відбивача. Плануйте короткий період обкатки та періодичну перевірку вихідної потужності, щоб зберігати однорідність ±0,1°C протягом усього робочого циклу SRD.