На виробничому майданчику навіть відхилення профілю випікання фоторезисту на півградуса може призвести до браку великої кількості пластин. Soft bake...

На лінії температура — це не фоновий регулятор, а рушійний фактор процесу. Відхилення на кілька градусів під час софт-бейку фоточутливого шару може...