http://ir-heating-master.com/uk/tags/%D1%87%D0%B8%D1%89%D0%B5%D0%BD%D0%BD%D1%8F/ Recent content in Чищення on Master Infrared Heating Systems Hugo uk Mon, 29 Jun 2026 07:42:01 +0800 http://ir-heating-master.com/uk/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ Mon, 29 Jun 2026 07:42:01 +0800 http://ir-heating-master.com/uk/posts/how-to-dry-wafer-after-cleaning/ <p><img src="http://ir-heating-master.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Як висушити віфер після чищення"></p> <p>На виробничій лінії пластинка, яка щойно пройшла процедуру промивання, ще зовсім не готова до подальших обробок. Сліди води, мікрочастинки та тепловий стрес, спричинений неналежним процесом сушіння, можуть значно знизити якість продукції ще на етапі підготовки до наступних операцій. Справжньою проблемою є не лише видалення води – потрібно також контролювати стан поверхні та рівень теплового навантаження.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Ми використовуємо систему контрольованого та швидкого надання енергії. Система забезпечує теплову однорідність на рівні ±0,1°C, тож не виникає місць з високою чи низькою температурою, які можуть спричинити проблеми з фоторезистом чи його прилипанням. Для швидкого нагріву та стабільного утримання потрібної температури використовуються інфрачервоні промені короткої та середньої довжини хвилі, а також кварцові елементи та елементи з вуглецевих волокон. Це дозволяє уникнути утворення частинок під час сушіння, що є необхідним для дотримання стандартів чистої кімнати класу 1–100. Таким чином, можна досягти стабільного контролю кута контакту та поверхні без залишків бруду після кожної процедури сушіння.</p>