فیبرک فلور پر، فوٹوریزسٹ کو بھوننے یا ویفر کو خشک کرنے کے دوران حرارتی تغیرات، صرف پیداواری رفتار کو متاثر کرنے والے عوامل ہی نہیں ہیں؛ بلکہ یہ عوامل اہم ابعاد کو بھی تبدیل کرتے ہیں، جس سے پیداوار میں کمی واقع ہوتی ہے۔ لہذا، ضروری ہے کہ حرارت تیزی سے پہنچے، مستقل رہے، اور صاف رہے – ہر شفٹ میں۔
ہمارے PECVD ہیٹنگ سسٹمز میں استعمال ہونے والے انفراریڈ ایمیٹرز، مختصر لہروں کی توانائی کا استعمال کرتے ہیں، جس سے فوری حرارتی ردِعمل حاصل ہوتا ہے، اور پروسیسنگ کے دوران ویفر کے ابعاد ±0.1°C کے اندر ہی رہتے ہیں۔ کوارٹز کی تہیں اور خصوصی فلامنٹس، ذرات کی پیداوار کو صفر پر رکھتے ہیں، تاکہ کلین روم کی سطح 1–100 کلاس میں ہی رہے۔ آؤٹ پٹ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک مستقل رہتا ہے، اور شدت میں 5% سے بھی کم تغیر ہوتا ہے؛ اس طرح حرارتی سسٹم مستقل طور پر کام کرتا رہتا ہے۔ یہ سسٹم موجودہ PECVD اور حرارتی پروسیسنگ ماڈیولز میں براہِ راست استعمال کیا جاسکتا ہے؛ اس کے علاوہ، یہ استعمال کرنے میں آسان ہے، اور اس کا سائز بھی چھوٹا ہے، جس سے آپ کے آلات کی ترتیب میں کوئی رکاوٹ نہیں پڑتی۔
ویفر کو خشک کرنے اور صاف کرنے کے دوران، یہ ایمیٹرز بغیر کسی حرارتی تاخیر کے ڈیسورپشن کو فعال کرتے ہیں، جس سے پروسیسنگ کا وقت کم ہوتا ہے، اور ویفر کی سطح پر نمی باقی نہیں رہتی۔ لیتھوگرافی میں، یہ ایمیٹرز مضبوط حرارتی کنٹرول کے ذریعہ فوٹوریزسٹ کی ساخت کو مستحکم کرتے ہیں، جس سے پروفائلز اور CD کی یکسانیت برقرار رہتی ہے۔ پیکیجنگ کے دوران، یہ ایمیٹرز انکیپسولنٹس اور انڈرفلز کو تیزی سے اور یکساں طور پر خشک کرتے ہیں؛ اس طرح اوون میں رہنے کا وقت کم ہوتا ہے، اور چپکنے کی صلاحیت متاثر نہیں ہوتی۔
توانائی کی کفایتی الیکٹرانکس کے ساتھ، رزسٹیو ہیٹرز کے مقابلے میں بجلی کی کھپت کم ہوتی ہے، اور دیکھ بھال کے وقفے بھی طویل ہو جاتے ہیں، کیوں کہ کوئی گرم فلامنٹ پروسیسنگ گیسوں کے سامنے نہیں رہتا۔
انسٹالیشن کے دوران اہم بات یہ ہے کہ ریفلیکٹر کی ساخت اور آلے کے حرارتی کنٹرول سسٹم کو مناسب طریقے سے ہم آہنگ کیا جائے؛ ہم عام چیمبروں کے لئے کیلیبریشن میپس فراہم کرتے ہیں۔ جب آپ مڈ-ویو سے شارٹ-ویو پروفائلز میں تبدیلی کرتے ہیں، تو تھرموسٹیٹ تک پہنچنے میں تھوڑا زیادہ وقت لگے گا؛ لہذا، اپنے سینسرز کی جگہ کو ہمارے فراہم کردہ حرارتی پروفائل کے مطابق رکھیں۔ کلین روم کے مطابق ماؤنٹنگ ہارڈویئر کا استعمال کریں، اور گیس لائنوں کی سازگاری کو بھی یقینی بنائیں، تاکہ ونڈو کے انٹرفیس پر کوئی کنڈینسیشن نہ ہو۔