Ra ngoài sàn fab, một SRD để lại dấu vết hoặc hạt trên wafer không chỉ trông xấu—mà còn ảnh hưởng đến năng suất. Đèn hồng ngoại là bộ điều khiển nhiệt của toàn bộ chu trình, và nó xác định ranh giới giữa một quá trình khô phù hợp với ngân sách nhiệt và một quá trình gây áp lực lên lớp phim. Điều quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi thiết kế đèn hồng ngoại SRD dựa trên cửa sổ quy trình, không phải trên bảng thông số bóng bẩy. NIR sóng ngắn giúp bạn có được tốc độ gia nhiệt nhanh, và vỏ thạch anh cộng với hình học phản xạ giữ cho độ đồng nhất ở cấp wafer trong khoảng ±0.1°C trong suốt quá trình quay. Đầu ra giữ ổn định đủ để bảo vệ tính toàn vẹn của photoresist sau khi nướng mềm và nướng cứng, và nó hoạt động 24/7 mà không tạo ra hạt—phù hợp cho phòng sạch Class 1–100. Tính lặp lại phụ thuộc vào việc đạt được cùng một điểm đặt, chu kỳ sau chu kỳ, với độ lệch tối thiểu trong hàng nghìn giờ. Tại sao nó hoạt động trong một SRD Trong một SRD, đèn phải làm bay hơi nước rửa mà không nấu chín nền tảng hoặc lớp polymer. Kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ rút ngắn giai đoạn khô, giữ cho việc kiểm soát kích thước quan trọng chặt chẽ, và giảm thiểu phế phẩm. Bạn có thể tăng cường khả năng thông qua và các khoảng thời gian bảo trì dự đoán, trong khi mức tiêu thụ năng lượng giảm nhờ vào việc ghép nối NIR hiệu quả và phản ứng nhiệt nhanh. Trên các dây chuyền quang khắc, điều đó có nghĩa là ít lô sửa chữa hơn và lịch sử nhiệt độ đồng nhất, theo đường nhìn trên mỗi wafer. Dưới đây là những chi tiết thực tiễn Việc lắp đặt phải chính xác: căn chỉnh quang học với trục quay và giao diện sạch sẽ với buồng. Nếu thực hiện không đúng, bạn sẽ thấy các điểm nóng và quá trình làm khô không đều. Đèn hoạt động trong các thông số điện áp và chất lỏng làm mát đã chỉ định, và hình học của buồng cần phải phù hợp với hình dạng của phản xạ. Lập kế hoạch cho một đợt đốt thử ngắn, sau đó kiểm tra định kỳ đầu ra để giữ cho độ đồng nhất ±0.1°C xuyên suốt chu trình làm việc của SRD.