Giới thiệu Hãy thừa nhận rằng, khi dây chuyền xử lý wafer đang hoạt động ổn định, điều cuối cùng mà bạn muốn chính là sự cố hỏng hóc của các bộ phận,...

Trên sàn sản xuất, một hồ sơ nướng photoresist lệch chỉ nửa độ cũng có thể làm ảnh hưởng đến rất nhiều wafer. Soft bake và hard bake không chỉ là các...